Tấm SiC là một loại gốm sứ có độ xốp dày đặc bằng 0, dựa trên SiC và thiêu kết ở 2250oC.Hàm lượng SiC lớn hơn 99,6%, độ bền uốn lớn hơn 410mpa và độ dẫn nhiệt là 140W / MK, đây là vật liệu gốm duy nhất có khả năng chống HF, H2SO4 và sự ăn mòn axit mạnh khác。
Ưu điểm của gốm sứ cacbua silic:
1, hệ số giãn nở nhiệt nhỏ, rất gần với silicon;
2, khả năng chống mài mòn tuyệt vời, độ cứng chỉ đứng sau kim cương;
3, dẫn nhiệt tuyệt vời, chịu nhiệt độ cao và tản nhiệt nhanh;
![Đầu cặp silicon cacbua3](http://www.semi-cera.com/uploads/Silicon-carbide-chuck3.png)
Các thông số kỹ thuật
![hình ảnh 1](http://www.semi-cera.com/uploads/15a6ba392.png)