Chất nền wafer Semicera 3C-SiC được thiết kế để cung cấp nền tảng mạnh mẽ cho các thiết bị điện tử công suất và tần số cao thế hệ tiếp theo. Với đặc tính nhiệt và đặc tính điện vượt trội, các chất nền này được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu khắt khe của công nghệ hiện đại.
Cấu trúc 3C-SiC (Cubic Silicon Carbide) của Chất nền bán dẫn Semicera mang lại những ưu điểm độc đáo, bao gồm độ dẫn nhiệt cao hơn và hệ số giãn nở nhiệt thấp hơn so với các vật liệu bán dẫn khác. Điều này làm cho chúng trở thành sự lựa chọn tuyệt vời cho các thiết bị hoạt động ở nhiệt độ khắc nghiệt và điều kiện năng lượng cao.
Với điện áp đánh thủng cao và độ ổn định hóa học vượt trội, Chất nền wafer Semicera 3C-SiC đảm bảo hiệu suất và độ tin cậy lâu dài. Những đặc tính này rất quan trọng đối với các ứng dụng như radar tần số cao, chiếu sáng trạng thái rắn và bộ biến tần nguồn, trong đó hiệu suất và độ bền là tối quan trọng.
Cam kết về chất lượng của Semicera được thể hiện qua quy trình sản xuất tỉ mỉ của Chất nền wafer 3C-SiC, đảm bảo tính đồng nhất và nhất quán trên mỗi lô. Độ chính xác này góp phần vào hiệu suất tổng thể và tuổi thọ của các thiết bị điện tử được chế tạo dựa trên chúng.
Bằng cách chọn Chất nền wafer Semicera 3C-SiC, các nhà sản xuất có quyền truy cập vào vật liệu tiên tiến cho phép phát triển các linh kiện điện tử nhỏ hơn, nhanh hơn và hiệu quả hơn. Semicera tiếp tục hỗ trợ đổi mới công nghệ bằng cách cung cấp các giải pháp đáng tin cậy đáp ứng nhu cầu ngày càng tăng của ngành bán dẫn.
| Mặt hàng | Sản xuất | Nghiên cứu | giả |
| Thông số tinh thể | |||
| đa hình | 4H | ||
| Lỗi định hướng bề mặt | <11-20 >4±0,15° | ||
| Thông số điện | |||
| Dopant | Nitơ loại n | ||
| Điện trở suất | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Thông số cơ học | |||
| Đường kính | 150,0±0,2mm | ||
| độ dày | 350±25 mm | ||
| Hướng phẳng chính | [1-100]±5° | ||
| Chiều dài phẳng chính | 47,5 ± 1,5mm | ||
| Căn hộ thứ cấp | Không có | ||
| TTV | 5 mm | 10 mm | 15 mm |
| LTV | 3 mm(5mm*5mm) | 5 mm(5mm*5mm) | 10 m(5mm*5mm) |
| Cây cung | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Làm cong vênh | 35 mm | 45 mm | 55 mm |
| Độ nhám mặt trước (Si-face) (AFM) | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Kết cấu | |||
| Mật độ micropipe | <1 cái/cm2 | <10 cái/cm2 | <15 cái/cm2 |
| Tạp chất kim loại | 5E10 nguyên tử/cm2 | NA | |
| BPD | 1500 cái/cm2 | 3000 cái/cm2 | NA |
| TSD | 500 cái/cm2 | 1000 cái/cm2 | NA |
| Chất lượng mặt trước | |||
| Đằng trước | Si | ||
| Bề mặt hoàn thiện | Si-mặt CMP | ||
| hạt | 60ea/bánh xốp (kích thước ≥0,3μm) | NA | |
| Vết xước | 5ea/mm. Chiều dài tích lũy ≤ Đường kính | Chiều dài tích lũy<2*Đường kính | NA |
| Vỏ cam/hố/vết bẩn/vết nứt/vết nứt/nhiễm bẩn | Không có | NA | |
| Chip cạnh/vết lõm/gãy/tấm lục giác | Không có | ||
| Khu vực đa dạng | Không có | Diện tích tích lũy<20% | Diện tích tích lũy<30% |
| Đánh dấu laser phía trước | Không có | ||
| Trở lại Chất lượng | |||
| Kết thúc trở lại | CMP mặt chữ C | ||
| Vết xước | 5ea / mm, Chiều dài tích lũy 2 * Đường kính | NA | |
| Khuyết tật ở mặt sau (lỗi ở cạnh/vết lõm) | Không có | ||
| Độ nhám lưng | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Đánh dấu laser phía sau | 1 mm (từ cạnh trên) | ||
| Bờ rìa | |||
| Bờ rìa | vát mép | ||
| Bao bì | |||
| Bao bì | Sẵn sàng cho Epi với bao bì chân không Bao bì cassette nhiều wafer | ||
| *Lưu ý: "NA" nghĩa là không có yêu cầu. Các mục không được đề cập có thể ám chỉ SEMI-STD. | |||
