Lớp phủ CVD SiC
Epitaxy cacbua silic (SiC)
Khay epiticular, chứa chất nền SiC để phát triển lát epiticular SiC, được đặt trong buồng phản ứng và tiếp xúc trực tiếp với wafer.
Phần nửa vầng trăng phía trên là vật mang các phụ kiện khác của buồng phản ứng của thiết bị epitaxy Sic, còn phần nửa vầng trăng phía dưới được nối với ống thạch anh, đưa khí vào để điều khiển đế cảm biến quay.chúng có thể được kiểm soát nhiệt độ và được lắp đặt trong buồng phản ứng mà không tiếp xúc trực tiếp với tấm bán dẫn.
Si epitaxy
Khay chứa chất nền Si để phát triển lát epiticular Si, được đặt trong buồng phản ứng và tiếp xúc trực tiếp với wafer.
Vòng gia nhiệt trước nằm ở vòng ngoài của khay đế epiticular Si và được sử dụng để hiệu chuẩn và gia nhiệt.Nó được đặt trong buồng phản ứng và không tiếp xúc trực tiếp với tấm bán dẫn.
Một chất nhạy cảm epiticular, giữ chất nền Si để phát triển một lát epiticular Si, được đặt trong buồng phản ứng và tiếp xúc trực tiếp với wafer.
Thùng epiticular là thành phần chính được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn khác nhau, thường được sử dụng trong thiết bị MOCVD, có độ ổn định nhiệt, kháng hóa chất và chống mài mòn tuyệt vời, rất thích hợp để sử dụng trong các quy trình nhiệt độ cao.Nó liên lạc với các tấm wafer.
| 重结晶碳化硅物理特性 Tính chất vật lý của cacbua silic kết tinh | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 / Giá trị điển hình |
| 使用温度 / Nhiệt độ làm việc (°C) | 1600°C (có oxy), 1700°C (môi trường khử) |
| SiC 含量 / nội dung SiC | > 99,96% |
| 自由 Si 含量 / Nội dung Si miễn phí | <0,1% |
| 体积密度 / Mật độ khối | 2,60-2,70 g/cm33 |
| 气孔率 / Độ xốp rõ ràng | < 16% |
| 抗压强度 / Cường độ nén | > 600 MPa |
| 常温抗弯强度 / Độ bền uốn nguội | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度 Cường độ uốn nóng | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数 / Giãn nở nhiệt @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数 / Độ dẫn nhiệt @1200°C | 23 W/m·K |
| 杨氏模量 / Mô đun đàn hồi | 240 GPa |
| 抗热震性/Khả năng chống sốc nhiệt | Cực kỳ tốt |
| 烧结碳化硅物理特性 Tính chất vật lý của cacbua silic thiêu kết | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 / Giá trị điển hình |
| 化学成分 / Thành phần hóa học | SiC>95%, Si<5% |
| 体积密度 / Mật độ lớn | >3,07 g/cm³ |
| 显气孔率 / Độ xốp rõ ràng | <0,1% |
| 常温抗弯强度 / Mô đun đứt gãy ở 20oC | 270 MPa |
| 高温抗弯强度 / Mô đun đứt gãy ở 1200oC | 290 MPa |
| 硬度 / Độ cứng ở 20oC | 2400 Kg/mm2 |
| 断裂韧性 / Độ dẻo dai khi gãy ở mức 20% | 3,3 MPa · m1/2 |
| 导热系数 / Độ dẫn nhiệt ở 1200oC | 45 w/m .K |
| 热膨胀系数 / Giãn nở nhiệt ở 20-1200oC | 4,5 1×10 -6/oC |
| 最高工作温度 / Nhiệt độ làm việc tối đa | 1400oC |
| 热震稳定性 / Khả năng chống sốc nhiệt ở 1200oC | Tốt |
| CVD SiC 薄膜基本物理性能 Tính chất vật lý cơ bản của màng CVD SiC | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 / Giá trị điển hình |
| 晶体结构 / Cấu trúc tinh thể | FCC đa tinh thể pha β, chủ yếu định hướng (111) |
| 密度 / Mật độ | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Độ cứng 2500 | 维氏硬度(tải 500g) |
| 晶粒大小 / Kích thước hạt | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
| 热容 / Công suất nhiệt | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa | 2700oC |
| 抗弯强度 / Độ bền uốn | 415 MPa RT 4 điểm |
| 杨氏模量 / Mô đun của Young | Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC |
| 导热系数 / Độ dẫn nhiệt | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Giãn nở nhiệt(CTE) | 4,5×10-6 K -1 |
Lớp phủ cacbon nhiệt phân
Những đặc điểm chính
Bề mặt dày đặc và không có lỗ chân lông.
Độ tinh khiết cao, tổng hàm lượng tạp chất <20ppm, độ kín khí tốt.
Khả năng chịu nhiệt độ cao, cường độ tăng khi nhiệt độ sử dụng tăng, đạt giá trị cao nhất ở 2750oC, thăng hoa ở 3600oC.
Mô đun đàn hồi thấp, độ dẫn nhiệt cao, hệ số giãn nở nhiệt thấp và khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời.
Độ ổn định hóa học tốt, chịu được axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ và không ảnh hưởng đến kim loại nóng chảy, xỉ và các môi trường ăn mòn khác.Nó không bị oxy hóa đáng kể trong khí quyển dưới 400 C và tốc độ oxy hóa tăng đáng kể ở 800oC.
Không giải phóng bất kỳ khí nào ở nhiệt độ cao, nó có thể duy trì độ chân không 10-7mmHg ở khoảng 1800°C.
Ứng dụng sản phẩm
Nồi nấu kim loại làm bay hơi trong ngành công nghiệp bán dẫn.
Cổng ống điện tử công suất cao.
Bàn chải tiếp xúc với bộ điều chỉnh điện áp.
Máy đơn sắc than chì cho tia X và neutron.
Các hình dạng khác nhau của chất nền than chì và lớp phủ ống hấp thụ nguyên tử.
Hiệu ứng phủ carbon nhiệt phân dưới kính hiển vi 500X, với bề mặt nguyên vẹn và kín.
Lớp phủ cacbua tantali CVD
Lớp phủ TaC là vật liệu chịu nhiệt độ cao thế hệ mới, có độ ổn định ở nhiệt độ cao tốt hơn SiC.Là lớp phủ chống ăn mòn, lớp phủ chống oxy hóa và lớp phủ chống mài mòn, có thể được sử dụng trong môi trường trên 2000C, được sử dụng rộng rãi trong các bộ phận đầu nóng ở nhiệt độ cực cao trong ngành hàng không vũ trụ, các lĩnh vực phát triển tinh thể đơn bán dẫn thế hệ thứ ba.
| Tính chất vật lý của lớp phủ TaC | |
| 密度/ Mật độ | 14,3 (g/cm3) |
| 比辐射率 /độ phát xạ riêng | 0,3 |
| 热膨胀系数/ Hệ số giãn nở nhiệt | 6,3 10/K |
| 努氏硬度 /Độ cứng (HK) | 2000 HK |
| 电阻/ Kháng chiến | 1x10-5 Ôm*cm |
| 热稳定性/Độ ổn định nhiệt | <2500oC |
| 石墨尺寸变化/Thay đổi kích thước than chì | -10~-20um |
| 涂层厚度/Độ dày lớp phủ | ≥220um giá trị điển hình (35um±10um) |
Cacbua silic rắn (CVD SiC)
Các bộ phận CVD SILICON CARBIDE rắn được công nhận là lựa chọn chính cho các vòng và đế RTP/EPI cũng như các bộ phận khoang khắc plasma hoạt động ở nhiệt độ vận hành yêu cầu hệ thống cao (> 1500°C), yêu cầu về độ tinh khiết đặc biệt cao (> 99,9995%) và hiệu suất đặc biệt tốt khi khả năng kháng hóa chất đặc biệt cao.Những vật liệu này không chứa các pha thứ cấp ở rìa hạt nên các thành phần của chúng tạo ra ít hạt hơn các vật liệu khác.Ngoài ra, các bộ phận này có thể được làm sạch bằng HF/HCI nóng mà ít bị phân hủy, tạo ra ít hạt hơn và tuổi thọ dài hơn.
