Semiceratự hào giới thiệu nóChất nền oxit gali 4", một vật liệu đột phá được thiết kế để đáp ứng nhu cầu ngày càng tăng của các thiết bị bán dẫn hiệu suất cao. Galli Oxit (Ga2O3) cung cấp dải tần cực rộng, khiến chúng trở nên lý tưởng cho các thiết bị điện tử công suất thế hệ tiếp theo, quang điện tử UV và các thiết bị tần số cao.
Các tính năng chính:
• Khoảng cách siêu rộng: CáiChất nền oxit gali 4"tự hào có dải tần xấp xỉ 4,8 eV, cho phép chịu được điện áp và nhiệt độ vượt trội, vượt trội đáng kể so với các vật liệu bán dẫn truyền thống như silicon.
•Điện áp đánh thủng cao: Những chất nền này cho phép các thiết bị hoạt động ở điện áp và công suất cao hơn, khiến chúng trở nên hoàn hảo cho các ứng dụng điện áp cao trong điện tử công suất.
•Độ ổn định nhiệt vượt trội: Chất nền Gallium Oxide có tính dẫn nhiệt tuyệt vời, đảm bảo hiệu suất ổn định trong điều kiện khắc nghiệt, lý tưởng để sử dụng trong các môi trường đòi hỏi khắt khe.
•Chất lượng vật liệu cao: Với mật độ khuyết tật thấp và chất lượng tinh thể cao, các chất nền này đảm bảo hiệu suất ổn định và đáng tin cậy, nâng cao hiệu quả và độ bền cho thiết bị của bạn.
•Ứng dụng đa năng: Thích hợp cho nhiều ứng dụng, bao gồm bóng bán dẫn điện, điốt Schottky và thiết bị LED UV-C, cho phép đổi mới trong cả lĩnh vực điện và quang điện tử.
Khám phá tương lai của công nghệ bán dẫn với SemiceraChất nền oxit gali 4". Chất nền của chúng tôi được thiết kế để hỗ trợ các ứng dụng tiên tiến nhất, mang lại độ tin cậy và hiệu quả cần thiết cho các thiết bị tiên tiến hiện nay. Hãy tin tưởng Semicera về chất lượng và sự đổi mới trong vật liệu bán dẫn của bạn.
| Mặt hàng | Sản xuất | Nghiên cứu | giả |
| Thông số tinh thể | |||
| đa hình | 4H | ||
| Lỗi định hướng bề mặt | <11-20 >4±0,15° | ||
| Thông số điện | |||
| Dopant | Nitơ loại n | ||
| Điện trở suất | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Thông số cơ học | |||
| Đường kính | 150,0±0,2mm | ||
| độ dày | 350±25 mm | ||
| Hướng phẳng chính | [1-100]±5° | ||
| Chiều dài phẳng chính | 47,5 ± 1,5mm | ||
| Căn hộ thứ cấp | Không có | ||
| TTV | 5 mm | 10 mm | 15 mm |
| LTV | 3 mm(5mm*5mm) | 5 mm(5mm*5mm) | 10 m(5mm*5mm) |
| Cây cung | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Làm cong vênh | 35 mm | 45 mm | 55 mm |
| Độ nhám mặt trước (Si-face) (AFM) | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Kết cấu | |||
| Mật độ micropipe | <1 cái/cm2 | <10 cái/cm2 | <15 cái/cm2 |
| Tạp chất kim loại | 5E10 nguyên tử/cm2 | NA | |
| BPD | 1500 cái/cm2 | 3000 cái/cm2 | NA |
| TSD | 500 cái/cm2 | 1000 cái/cm2 | NA |
| Chất lượng mặt trước | |||
| Đằng trước | Si | ||
| Bề mặt hoàn thiện | Si-mặt CMP | ||
| hạt | 60ea/bánh xốp (kích thước ≥0,3μm) | NA | |
| Vết xước | 5ea/mm. Chiều dài tích lũy ≤ Đường kính | Chiều dài tích lũy<2*Đường kính | NA |
| Vỏ cam/hố/vết bẩn/vết nứt/vết nứt/nhiễm bẩn | Không có | NA | |
| Chip cạnh/vết lõm/gãy/tấm lục giác | Không có | ||
| Khu vực đa dạng | Không có | Diện tích tích lũy<20% | Diện tích tích lũy<30% |
| Đánh dấu laser phía trước | Không có | ||
| Trở lại Chất lượng | |||
| Kết thúc trở lại | CMP mặt chữ C | ||
| Vết xước | 5ea / mm, Chiều dài tích lũy 2 * Đường kính | NA | |
| Khuyết tật ở mặt sau (lỗi ở cạnh/vết lõm) | Không có | ||
| Độ nhám lưng | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Đánh dấu laser phía sau | 1 mm (từ cạnh trên) | ||
| Bờ rìa | |||
| Bờ rìa | vát mép | ||
| Bao bì | |||
| Bao bì | Sẵn sàng cho Epi với bao bì chân không Bao bì cassette nhiều wafer | ||
| *Lưu ý: "NA" nghĩa là không có yêu cầu. Các mục không được đề cập có thể ám chỉ SEMI-STD. | |||
