Chất nền SiC loại N 4 inch của Semicera được chế tạo để đáp ứng các tiêu chuẩn chính xác của ngành bán dẫn. Những chất nền này cung cấp nền tảng hiệu suất cao cho nhiều ứng dụng điện tử, mang lại đặc tính dẫn nhiệt và dẫn nhiệt vượt trội.
Sự pha tạp loại N của các chất nền SiC này giúp tăng cường tính dẫn điện của chúng, khiến chúng đặc biệt thích hợp cho các ứng dụng công suất cao và tần số cao. Đặc tính này cho phép các thiết bị như điốt, bóng bán dẫn và bộ khuếch đại hoạt động hiệu quả, trong đó việc giảm thiểu tổn thất năng lượng là rất quan trọng.
Semicera sử dụng các quy trình sản xuất hiện đại để đảm bảo rằng mỗi chất nền đều có chất lượng bề mặt tuyệt vời và tính đồng nhất. Độ chính xác này rất quan trọng đối với các ứng dụng trong điện tử công suất, thiết bị vi sóng và các công nghệ khác đòi hỏi hiệu suất đáng tin cậy trong các điều kiện khắc nghiệt.
Việc kết hợp chất nền SiC loại N của Semicera vào dây chuyền sản xuất của bạn đồng nghĩa với việc hưởng lợi từ các vật liệu có khả năng tản nhiệt và ổn định điện vượt trội. Những chất nền này lý tưởng để tạo ra các bộ phận đòi hỏi độ bền và hiệu quả, chẳng hạn như hệ thống chuyển đổi nguồn và bộ khuếch đại RF.
Bằng cách chọn Chất nền SiC loại N 4 inch của Semicera, bạn đang đầu tư vào một sản phẩm kết hợp khoa học vật liệu tiên tiến với tay nghề tỉ mỉ. Semicera tiếp tục dẫn đầu ngành bằng cách cung cấp các giải pháp hỗ trợ phát triển các công nghệ bán dẫn tiên tiến, đảm bảo hiệu suất và độ tin cậy cao.
| Mặt hàng | Sản xuất | Nghiên cứu | giả |
| Thông số tinh thể | |||
| đa hình | 4H | ||
| Lỗi định hướng bề mặt | <11-20 >4±0,15° | ||
| Thông số điện | |||
| Dopant | Nitơ loại n | ||
| Điện trở suất | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Thông số cơ học | |||
| Đường kính | 150,0±0,2mm | ||
| độ dày | 350±25 mm | ||
| Hướng phẳng chính | [1-100]±5° | ||
| Chiều dài phẳng chính | 47,5 ± 1,5mm | ||
| Căn hộ thứ cấp | Không có | ||
| TTV | 5 mm | 10 mm | 15 mm |
| LTV | 3 mm(5mm*5mm) | 5 mm(5mm*5mm) | 10 m(5mm*5mm) |
| Cây cung | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Làm cong vênh | 35 mm | 45 mm | 55 mm |
| Độ nhám mặt trước (Si-face) (AFM) | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Kết cấu | |||
| Mật độ micropipe | <1 cái/cm2 | <10 cái/cm2 | <15 cái/cm2 |
| Tạp chất kim loại | 5E10 nguyên tử/cm2 | NA | |
| BPD | 1500 cái/cm2 | 3000 cái/cm2 | NA |
| TSD | 500 cái/cm2 | 1000 cái/cm2 | NA |
| Chất lượng mặt trước | |||
| Đằng trước | Si | ||
| Bề mặt hoàn thiện | Si-mặt CMP | ||
| hạt | 60ea/bánh xốp (kích thước ≥0,3μm) | NA | |
| Vết xước | 5ea/mm. Chiều dài tích lũy ≤ Đường kính | Chiều dài tích lũy<2*Đường kính | NA |
| Vỏ cam/hố/vết bẩn/vết nứt/vết nứt/ô nhiễm | Không có | NA | |
| Chip cạnh/vết lõm/gãy/tấm lục giác | Không có | ||
| Khu vực đa dạng | Không có | Diện tích tích lũy<20% | Diện tích tích lũy<30% |
| Đánh dấu laser phía trước | Không có | ||
| Trở lại Chất lượng | |||
| Kết thúc trở lại | CMP mặt chữ C | ||
| Vết xước | 5ea / mm, Chiều dài tích lũy 2 * Đường kính | NA | |
| Khuyết tật ở mặt sau (lỗi ở cạnh/vết lõm) | Không có | ||
| Độ nhám lưng | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Đánh dấu laser phía sau | 1 mm (từ cạnh trên) | ||
| Bờ rìa | |||
| Bờ rìa | vát mép | ||
| Bao bì | |||
| Bao bì | Sẵn sàng cho Epi với bao bì chân không Bao bì cassette nhiều wafer | ||
| *Lưu ý: "NA" nghĩa là không có yêu cầu. Các mục không được đề cập có thể ám chỉ SEMI-STD. | |||
