Tấm wafer SiC loại N 6 inch của Semicera đứng đầu trong công nghệ bán dẫn. Được chế tạo để mang lại hiệu suất tối ưu, tấm bán dẫn này vượt trội trong các ứng dụng năng lượng cao, tần số cao và nhiệt độ cao, rất cần thiết cho các thiết bị điện tử tiên tiến.
Tấm wafer SiC loại N 6 inch của chúng tôi có độ linh động điện tử cao và điện trở thấp, đây là những thông số quan trọng đối với các thiết bị nguồn như MOSFET, điốt và các thành phần khác. Những đặc tính này đảm bảo chuyển đổi năng lượng hiệu quả và giảm sinh nhiệt, nâng cao hiệu suất và tuổi thọ của hệ thống điện tử.
Quy trình kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt của Semicera đảm bảo rằng mỗi tấm wafer SiC duy trì độ phẳng bề mặt tuyệt vời và giảm thiểu sai sót. Sự chú ý tỉ mỉ đến từng chi tiết này đảm bảo rằng các tấm bán dẫn của chúng tôi đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của các ngành công nghiệp như ô tô, hàng không vũ trụ và viễn thông.
Ngoài các đặc tính điện ưu việt, tấm wafer SiC loại N còn có độ ổn định nhiệt cao và khả năng chịu nhiệt độ cao, khiến nó trở nên lý tưởng cho những môi trường mà vật liệu thông thường có thể bị hỏng. Khả năng này đặc biệt có giá trị trong các ứng dụng liên quan đến hoạt động tần số cao và công suất cao.
Bằng cách chọn Tấm wafer SiC loại N 6 inch của Semicera, bạn đang đầu tư vào một sản phẩm đại diện cho đỉnh cao của sự đổi mới chất bán dẫn. Chúng tôi cam kết cung cấp nền tảng cho các thiết bị tiên tiến, đảm bảo rằng các đối tác của chúng tôi trong các ngành khác nhau có quyền tiếp cận những vật liệu tốt nhất cho tiến bộ công nghệ của họ.
| Mặt hàng | Sản xuất | Nghiên cứu | giả |
| Thông số tinh thể | |||
| đa hình | 4H | ||
| Lỗi định hướng bề mặt | <11-20 >4±0,15° | ||
| Thông số điện | |||
| Dopant | Nitơ loại n | ||
| Điện trở suất | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Thông số cơ học | |||
| Đường kính | 150,0±0,2mm | ||
| độ dày | 350±25 mm | ||
| Hướng phẳng chính | [1-100]±5° | ||
| Chiều dài phẳng chính | 47,5 ± 1,5mm | ||
| Căn hộ thứ cấp | Không có | ||
| TTV | 5 mm | 10 mm | 15 mm |
| LTV | 3 mm(5mm*5mm) | 5 mm(5mm*5mm) | 10 m(5mm*5mm) |
| Cây cung | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Làm cong vênh | 35 mm | 45 mm | 55 mm |
| Độ nhám mặt trước (Si-face) (AFM) | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Kết cấu | |||
| Mật độ micropipe | <1 cái/cm2 | <10 cái/cm2 | <15 cái/cm2 |
| Tạp chất kim loại | 5E10 nguyên tử/cm2 | NA | |
| BPD | 1500 cái/cm2 | 3000 cái/cm2 | NA |
| TSD | 500 cái/cm2 | 1000 cái/cm2 | NA |
| Chất lượng mặt trước | |||
| Đằng trước | Si | ||
| Bề mặt hoàn thiện | Si-mặt CMP | ||
| hạt | 60ea/bánh xốp (kích thước ≥0,3μm) | NA | |
| Vết xước | 5ea/mm. Chiều dài tích lũy ≤ Đường kính | Chiều dài tích lũy<2*Đường kính | NA |
| Vỏ cam/hố/vết bẩn/vết nứt/vết nứt/ô nhiễm | Không có | NA | |
| Chip cạnh/vết lõm/gãy/tấm lục giác | Không có | ||
| Khu vực đa dạng | Không có | Diện tích tích lũy<20% | Diện tích tích lũy<30% |
| Đánh dấu laser phía trước | Không có | ||
| Trở lại Chất lượng | |||
| Kết thúc trở lại | CMP mặt chữ C | ||
| Vết xước | 5ea / mm, Chiều dài tích lũy 2 * Đường kính | NA | |
| Khuyết tật ở mặt sau (lỗi ở cạnh/vết lõm) | Không có | ||
| Độ nhám lưng | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Đánh dấu laser phía sau | 1 mm (từ cạnh trên) | ||
| Bờ rìa | |||
| Bờ rìa | vát mép | ||
| Bao bì | |||
| Bao bì | Sẵn sàng cho Epi với bao bì chân không Bao bì cassette nhiều wafer | ||
| *Lưu ý: "NA" nghĩa là không có yêu cầu. Các mục không được đề cập có thể ám chỉ SEMI-STD. | |||
