Tấm wafer HPSI SiC bán cách điện 6 inch của Semicera được thiết kế để đáp ứng nhu cầu khắt khe của công nghệ bán dẫn hiện đại. Với độ tinh khiết và tính nhất quán đặc biệt, những tấm bán dẫn này đóng vai trò là nền tảng đáng tin cậy để phát triển các linh kiện điện tử hiệu suất cao.
Các tấm wafer HPSI SiC này được biết đến với tính dẫn nhiệt và cách điện vượt trội, rất quan trọng để tối ưu hóa hiệu suất của các thiết bị điện và mạch tần số cao. Đặc tính bán cách điện giúp giảm thiểu nhiễu điện và tối đa hóa hiệu suất của thiết bị.
Quy trình sản xuất chất lượng cao được Semicera sử dụng đảm bảo rằng mỗi tấm wafer có độ dày đồng đều và khuyết tật bề mặt tối thiểu. Độ chính xác này rất cần thiết cho các ứng dụng tiên tiến như thiết bị tần số vô tuyến, bộ biến tần và hệ thống đèn LED, trong đó hiệu suất và độ bền là yếu tố chính.
Bằng cách tận dụng các kỹ thuật sản xuất tiên tiến, Semicera cung cấp các tấm bán dẫn không chỉ đáp ứng mà còn vượt qua các tiêu chuẩn ngành. Kích thước 6 inch mang lại sự linh hoạt trong việc mở rộng quy mô sản xuất, phục vụ cho cả ứng dụng nghiên cứu và thương mại trong lĩnh vực bán dẫn.
Chọn Tấm wafer HPSI SiC bán cách điện 6 inch của Semicera có nghĩa là đầu tư vào một sản phẩm mang lại chất lượng và hiệu suất ổn định. Những tấm wafer này là một phần trong cam kết của Semicera nhằm nâng cao khả năng của công nghệ bán dẫn thông qua các vật liệu cải tiến và tay nghề thủ công tỉ mỉ.
| Mặt hàng | Sản xuất | Nghiên cứu | giả |
| Thông số tinh thể | |||
| đa hình | 4H | ||
| Lỗi định hướng bề mặt | <11-20 >4±0,15° | ||
| Thông số điện | |||
| Dopant | Nitơ loại n | ||
| Điện trở suất | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Thông số cơ học | |||
| Đường kính | 150,0±0,2mm | ||
| độ dày | 350±25 mm | ||
| Hướng phẳng chính | [1-100]±5° | ||
| Chiều dài phẳng chính | 47,5 ± 1,5mm | ||
| Căn hộ thứ cấp | Không có | ||
| TTV | 5 mm | 10 mm | 15 mm |
| LTV | 3 mm(5mm*5mm) | 5 mm(5mm*5mm) | 10 m(5mm*5mm) |
| Cây cung | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Làm cong vênh | 35 mm | 45 mm | 55 mm |
| Độ nhám mặt trước (Si-face) (AFM) | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Kết cấu | |||
| Mật độ micropipe | <1 cái/cm2 | <10 cái/cm2 | <15 cái/cm2 |
| Tạp chất kim loại | 5E10 nguyên tử/cm2 | NA | |
| BPD | 1500 cái/cm2 | 3000 cái/cm2 | NA |
| TSD | 500 cái/cm2 | 1000 cái/cm2 | NA |
| Chất lượng mặt trước | |||
| Đằng trước | Si | ||
| Bề mặt hoàn thiện | Si-mặt CMP | ||
| hạt | 60ea/bánh xốp (kích thước ≥0,3μm) | NA | |
| Vết xước | 5ea/mm. Chiều dài tích lũy ≤ Đường kính | Chiều dài tích lũy<2*Đường kính | NA |
| Vỏ cam/hố/vết bẩn/vết nứt/vết nứt/nhiễm bẩn | Không có | NA | |
| Chip cạnh/vết lõm/gãy/tấm lục giác | Không có | ||
| Khu vực đa dạng | Không có | Diện tích tích lũy<20% | Diện tích tích lũy<30% |
| Đánh dấu laser phía trước | Không có | ||
| Trở lại Chất lượng | |||
| Kết thúc trở lại | CMP mặt chữ C | ||
| Vết xước | 5ea / mm, Chiều dài tích lũy 2 * Đường kính | NA | |
| Khuyết tật ở mặt sau (lỗi ở cạnh/vết lõm) | Không có | ||
| Độ nhám lưng | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Đánh dấu laser phía sau | 1 mm (từ cạnh trên) | ||
| Bờ rìa | |||
| Bờ rìa | vát mép | ||
| Bao bì | |||
| Bao bì | Sẵn sàng cho Epi với bao bì chân không Bao bì cassette nhiều wafer | ||
| *Lưu ý: "NA" nghĩa là không có yêu cầu. Các mục không được đề cập có thể ám chỉ SEMI-STD. | |||
