Bộ hiệu ứng gốm cacbua silic để chuyển các tấm bán dẫn trong các quy trình bán dẫn khác nhau

Đặc điểm và ưu điểm

1. Kích thước chính xác và độ ổn định nhiệt

2. Độ cứng riêng cao và độ đồng đều nhiệt tuyệt vời, sử dụng lâu dài không dễ bị biến dạng uốn cong;

3. Nó có bề mặt mịn và khả năng chống mài mòn tốt, do đó xử lý chip một cách an toàn mà không bị nhiễm hạt.

4. Điện trở suất cacbua silic trong 106-108Ω, không từ tính, phù hợp với yêu cầu đặc điểm kỹ thuật chống ESD; Nó có thể ngăn chặn sự tích tụ tĩnh điện trên bề mặt chip

5. Độ dẫn nhiệt tốt, hệ số giãn nở thấp.