Chất mang/chất nhạy cảm SiC có độ tinh khiết cao

Mô tả ngắn gọn:

Đĩa mang cacbua silic còn được gọi là khay SIC, đĩa khắc cacbua silic, đĩa khắc ICP. Khay silicon cacbua để khắc LED (khay SiC) φ600mm là phụ kiện đặc biệt dành cho khắc silicon sâu (máy khắc ICP).

Gửi email cho chúng tôi

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Sự miêu tả

Gốm sứ cacbua silic có các tính chất cơ học tuyệt vời ở nhiệt độ phòng, chẳng hạn như độ bền cao, độ cứng cao, mô đun đàn hồi cao, v.v., nó cũng có độ ổn định nhiệt độ cao tuyệt vời như độ dẫn nhiệt cao, hệ số giãn nở nhiệt thấp, độ cứng riêng và quang học tốt. hiệu suất xử lý.
Chúng đặc biệt thích hợp để sản xuất các bộ phận gốm chính xác cho các thiết bị mạch tích hợp như máy in thạch bản, chủ yếu được sử dụng để sản xuất chất mang/chất cảm ứng SiC, thuyền wafer SiC, đĩa hút, tấm làm mát bằng nước, gương phản xạ đo chính xác, cách tử và các bộ phận kết cấu gốm khác

nhà cung cấp dịch vụ2

người vận chuyển3

nhà cung cấp dịch vụ4

Thuận lợi

Chịu nhiệt độ cao: sử dụng bình thường ở 1800oC
Độ dẫn nhiệt cao: tương đương với vật liệu than chì
Độ cứng cao: độ cứng chỉ đứng sau kim cương, boron nitride
Chống ăn mòn: axit mạnh và kiềm không bị ăn mòn, khả năng chống ăn mòn tốt hơn cacbua vonfram và alumina
Trọng lượng nhẹ: mật độ thấp, gần bằng nhôm
Không biến dạng: hệ số giãn nở nhiệt thấp
Khả năng chống sốc nhiệt: nó có thể chịu được sự thay đổi nhiệt độ đột ngột, chống sốc nhiệt và có hiệu suất ổn định
Chất mang cacbua silic như chất mang khắc sic, chất nhạy ăn mòn ICP, được sử dụng rộng rãi trong CVD bán dẫn, phún xạ chân không, v.v. Chúng tôi có thể cung cấp cho khách hàng các chất mang wafer tùy chỉnh làm bằng vật liệu silicon và cacbua silic để đáp ứng các ứng dụng khác nhau.

Thuận lợi

Tài sản	Giá trị	Phương pháp
Tỉ trọng	3,21 g/cc	Chìm-phao và kích thước
Nhiệt dung riêng	0,66 J/g°K	Đèn flash laser xung
Độ bền uốn	450 MPa560 MPa	Uốn 4 điểm, uốn điểm RT4, 1300°
Độ dẻo dai gãy xương	2,94 MPa m1/2	Vi vết lõm
độ cứng	2800	Vicker's, tải trọng 500g
Mô đun đàn hồi Mô đun Young	450 GPa430 GPa	Uốn cong 4 pt, uốn cong pt RT4, 1300 ° C
Kích thước hạt	2 – 10 µm	SEM

Hồ sơ công ty

Công ty TNHH Công nghệ Năng lượng WeiTai là nhà cung cấp gốm bán dẫn tiên tiến hàng đầu và là nhà sản xuất duy nhất ở Trung Quốc có thể cung cấp đồng thời gốm silicon cacbua có độ tinh khiết cao (đặc biệt là SiC kết tinh lại) và lớp phủ CVD SiC. Ngoài ra, công ty chúng tôi còn cam kết về các lĩnh vực gốm sứ như alumina, nhôm nitride, zirconia, silicon nitride, v.v.

Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm: đĩa khắc cacbua silic, kéo thuyền cacbua silic, thuyền wafer cacbua silic (Quang điện & Chất bán dẫn), ống lò cacbua silic, mái chèo đúc hẫng cacbua silic, mâm cặp cacbua silic, chùm cacbua silic, cũng như lớp phủ CVD SiC và TaC lớp phủ. Các sản phẩm chủ yếu được sử dụng trong các ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện, chẳng hạn như thiết bị phát triển tinh thể, epitaxy, khắc, đóng gói, lò phủ và lò khuếch tán, v.v.
về (2)