Thuyền bánh xốp SiC
Thuyền wafer silicon cacbualà một thiết bị chịu tải cho các tấm wafer, chủ yếu được sử dụng trong các quá trình khuếch tán năng lượng mặt trời và chất bán dẫn. Nó có các đặc tính như chống mài mòn, chống ăn mòn, chống va đập ở nhiệt độ cao, chống bắn phá plasma, khả năng chịu nhiệt độ cao, dẫn nhiệt cao, tản nhiệt cao và sử dụng lâu dài không dễ uốn cong và biến dạng. Công ty chúng tôi sử dụng vật liệu cacbua silic có độ tinh khiết cao để đảm bảo tuổi thọ sử dụng và cung cấp các thiết kế tùy chỉnh, bao gồm cả. dọc và ngang khác nhauthuyền wafer.
Mái chèo SiC
cácmái chèo đúc hẫng silicon cacbuachủ yếu được sử dụng trong lớp phủ (khuếch tán) của tấm silicon, đóng vai trò quan trọng trong việc tải và vận chuyển tấm silicon ở nhiệt độ cao. Nó là một thành phần quan trọng củatấm bán dẫnhệ thống tải và có các đặc điểm chính sau:
1. Nó không bị biến dạng trong môi trường nhiệt độ cao và có lực tải cao lên các tấm bán dẫn;
2. Nó có khả năng chịu được nhiệt độ cực lạnh và nhanh, và có tuổi thọ cao;
3. Hệ số giãn nở nhiệt nhỏ, giúp kéo dài đáng kể chu trình bảo trì và làm sạch, đồng thời giảm đáng kể các chất ô nhiễm.
Ống lò SiC
Ống xử lý cacbua silic, được làm bằng SiC có độ tinh khiết cao, không có tạp chất kim loại, không gây ô nhiễm cho tấm bán dẫn và phù hợp cho các quá trình như quá trình khuếch tán bán dẫn và quang điện, quá trình ủ và oxy hóa.
Cánh tay robot SiC
Cánh tay robot SiC, còn được gọi là bộ tác động cuối chuyển wafer, là một cánh tay robot được sử dụng để vận chuyển các tấm bán dẫn và được sử dụng rộng rãi trong các ngành công nghiệp bán dẫn, quang điện tử và năng lượng mặt trời. Sử dụng cacbua silic có độ tinh khiết cao, có độ cứng cao, chống mài mòn, chống địa chấn, sử dụng lâu dài mà không bị biến dạng, tuổi thọ dài, v.v., có thể cung cấp các dịch vụ tùy chỉnh.
Than chì cho sự phát triển tinh thể
Tấm chắn nhiệt than chì
Ống điện cực than chì
Bộ làm lệch hướng than chì
Mâm cặp than chì
Tất cả các quy trình được sử dụng để phát triển các crvstal bán dẫn đều hoạt động trong môi trường có nhiệt độ cao và ăn mòn. Vùng nóng của lò tăng trưởng tinh thể thường được làm bằng chất có độ tinh khiết cao chịu nhiệt và chống ăn mòn. các thành phần than chì, chẳng hạn như lò sưởi than chì, nồi nấu kim loại, xi lanh, bộ làm lệch hướng, mâm cặp, ống, vòng, giá đỡ, đai ốc, v.v. Thành phẩm của chúng tôi có thể đạt được hàm lượng tro dưới 5ppm.
Than chì cho Epitaxy bán dẫn
Đế than chì
Thùng epiticular than chì
Đế Epiticular Silicon Monocry Staline
Bộ phận than chì MOCVD
Thiết bị cố định than chì bán dẫn
Quá trình epiticular đề cập đến sự phát triển của một vật liệu tinh thể đơn trên một chất nền tinh thể đơn có cách sắp xếp mạng giống như chất nền. Nó đòi hỏi nhiều bộ phận than chì có độ tinh khiết cực cao và đế than chì có lớp phủ SIC. Than chì có độ tinh khiết cao được sử dụng cho epit Wax bán dẫn có nhiều ứng dụng, có thể phù hợp với hầu hết các thiết bị được sử dụng phổ biến trong ngành, đồng thời, nó có giá trị cực cao. độ tinh khiết, lớp phủ đồng đều, tuổi thọ tuyệt vời, khả năng kháng hóa chất và ổn định nhiệt cực cao.
Vật liệu cách nhiệt và khác
Vật liệu cách nhiệt được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn là nỉ cứng than chì, nỉ mềm, lá than chì, vật liệu composite carbon, v.v. Nguyên liệu thô của chúng tôi là vật liệu than chì nhập khẩu, có thể cắt theo đặc điểm kỹ thuật của khách hàng và cũng có thể được bán dưới dạng trọn. Vật liệu composite carbon thường được sử dụng làm chất mang cho quá trình sản xuất tế bào đơn tinh thể và đa tinh thể mặt trời.