Semicera cung cấp lớp phủ tantalum cacbua (TaC) chuyên dụng cho các bộ phận và vật mang khác nhau.Quy trình phủ hàng đầu của Semicera cho phép lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đạt được độ tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt độ cao và khả năng chịu hóa chất cao, cải thiện chất lượng sản phẩm của tinh thể SIC/GAN và các lớp EPI (Chất nhạy cảm TaC được phủ than chì) và kéo dài tuổi thọ của các bộ phận chính của lò phản ứng. Việc sử dụng lớp phủ tantalum cacbua TaC là để giải quyết vấn đề cạnh và cải thiện chất lượng phát triển của tinh thể, và Semicera đã giải quyết được bước đột phá về công nghệ phủ cacbua tantalum (CVD), đạt đến trình độ tiên tiến quốc tế.
Sau nhiều năm phát triển, Semicera đã chinh phục được công nghệCVD TaCvới sự nỗ lực chung của bộ phận R&D. Các khuyết tật rất dễ xảy ra trong quá trình phát triển của tấm wafer SiC, nhưng sau khi sử dụngTaC, sự khác biệt là đáng kể. Dưới đây là so sánh các tấm bán dẫn có và không có TaC, cũng như các bộ phận của Semicera để phát triển tinh thể đơn
có và không có TaC
Sau khi sử dụng TaC (phải)
Ngoài ra, tuổi thọ của sản phẩm sơn TaC của Semicera dài hơn và chịu được nhiệt độ cao hơn so với sơn SiC. Sau một thời gian dài dữ liệu đo lường trong phòng thí nghiệm, TaC của chúng tôi có thể hoạt động trong thời gian dài ở nhiệt độ tối đa 2300 độ C. Sau đây là một số mẫu của chúng tôi:
(a) Sơ đồ nguyên lý của thiết bị nuôi phôi đơn tinh thể SiC bằng phương pháp PVT (b) Khung hạt giống được phủ TaC trên cùng (bao gồm cả hạt SiC) (c) Vòng dẫn hướng bằng than chì được phủ TAC
