Semicera giới thiệu sản phẩm tùy chỉnh chất lượng caomái chèo đúc hẫng silicon cacbuađược chế tạo để nâng cao quy trình sản xuất chất bán dẫn. Sự đổi mớiMái chèo SiCthiết kế đảm bảo độ bền vượt trội và khả năng chịu nhiệt cao, khiến nó trở thành thành phần thiết yếu để xử lý tấm bán dẫn trong môi trường nhiệt độ cao đầy thách thức.
cácMái chèo cacbua silicđược chế tạo để chịu được các chu kỳ nhiệt khắc nghiệt trong khi vẫn duy trì tính toàn vẹn của cấu trúc, đảm bảo vận chuyển tấm bán dẫn đáng tin cậy trong các giai đoạn quan trọng của quá trình sản xuất chất bán dẫn. Với sức mạnh cơ học vượt trội, điều nàythuyền wafergiảm thiểu nguy cơ hư hỏng tấm bán dẫn, dẫn đến năng suất cao hơn và chất lượng sản xuất ổn định.
Một trong những cải tiến quan trọng trong mái chèo SiC của Semicera nằm ở các tùy chọn thiết kế tùy chỉnh. Được thiết kế để đáp ứng nhu cầu sản xuất cụ thể, mái chèo mang đến sự linh hoạt khi tích hợp với các thiết lập thiết bị khác nhau, khiến nó trở thành giải pháp lý tưởng cho các quy trình chế tạo hiện đại. Cấu trúc nhẹ nhưng chắc chắn cho phép xử lý dễ dàng và giảm thời gian ngừng hoạt động, góp phần nâng cao hiệu quả trong sản xuất chất bán dẫn.
Ngoài các tính chất nhiệt và cơ học,Mái chèo cacbua siliccung cấp khả năng kháng hóa chất tuyệt vời, cho phép nó hoạt động đáng tin cậy ngay cả trong môi trường hóa học khắc nghiệt. Điều này làm cho nó đặc biệt thích hợp để sử dụng trong các quy trình liên quan đến ăn mòn, lắng đọng và xử lý nhiệt độ cao, trong đó việc duy trì tính toàn vẹn của thuyền bán dẫn là rất quan trọng để đảm bảo đầu ra chất lượng cao.
Tính chất vật lý của cacbua silic kết tinh | |
Tài sản | Giá trị điển hình |
Nhiệt độ làm việc (° C) | 1600°C (có oxy), 1700°C (môi trường khử) |
Nội dung SiC | > 99,96% |
Nội dung Si miễn phí | < 0,1% |
Mật độ lớn | 2,60-2,70 g/cm33 |
Độ xốp rõ ràng | < 16% |
Cường độ nén | > 600 MPa |
Độ bền uốn nguội | 80-90 MPa (20°C) |
Độ bền uốn nóng | 90-100 MPa (1400°C) |
Giãn nở nhiệt @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Độ dẫn nhiệt @1200°C | 23 W/m·K |
mô đun đàn hồi | 240 GPa |
Chống sốc nhiệt | Cực kỳ tốt |