Lớp phủ tantalum cacbua (TaC) chất lượng cao

Mô tả ngắn gọn:

Lớp phủ TaC của Semicera mang lại độ ổn định đặc biệt ở nhiệt độ cao, vượt qua SiC, chịu được nhiệt độ lên tới 2300oC. Lý tưởng cho sự phát triển tinh thể đơn bán dẫn thế hệ thứ ba và hàng không vũ trụ, nó mang lại khả năng chống ăn mòn, oxy hóa và mài mòn. Chọn Semicera để có chất lượng và sản xuất tại nhà máy hàng đầu.

Gửi email cho chúng tôi

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Semicera cung cấp lớp phủ tantalum cacbua (TaC) chuyên dụng cho các bộ phận và vật mang khác nhau.Quy trình phủ hàng đầu của Semicera cho phép lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đạt được độ tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt độ cao và khả năng chịu hóa chất cao, cải thiện chất lượng sản phẩm của tinh thể SIC/GAN và các lớp EPI (Chất nhạy cảm TaC được phủ than chì) và kéo dài tuổi thọ của các bộ phận chính của lò phản ứng. Việc sử dụng lớp phủ tantalum cacbua TaC là để giải quyết vấn đề cạnh và cải thiện chất lượng phát triển của tinh thể, và Semicera đã giải quyết được bước đột phá về công nghệ phủ cacbua tantalum (CVD), đạt đến trình độ tiên tiến quốc tế.

Sau nhiều năm phát triển, Semicera đã chinh phục được công nghệCVD TaCvới sự nỗ lực chung của bộ phận R&D. Các khuyết tật rất dễ xảy ra trong quá trình phát triển của tấm wafer SiC, nhưng sau khi sử dụngTaC, sự khác biệt là đáng kể. Dưới đây là so sánh các tấm bán dẫn có và không có TaC, cũng như các bộ phận của Semicera để phát triển tinh thể đơn

Phần được phủ TaC để tăng trưởng đơn tinh thể

Lớp phủ cacbua tantalum chống mài mòn_ Bảo vệ thiết bị khỏi mài mòn và ăn mòn Hình ảnh nổi bật

Vòng than chì phủ TaC

có và không có TaC

Sau khi sử dụng TaC (phải)

Ngoài ra, tuổi thọ của sản phẩm sơn TaC của Semicera dài hơn và chịu được nhiệt độ cao hơn so với sơn SiC. Sau một thời gian dài dữ liệu đo lường trong phòng thí nghiệm, TaC của chúng tôi có thể hoạt động trong thời gian dài ở nhiệt độ tối đa 2300 độ C. Sau đây là một số mẫu của chúng tôi: