Thuyền than chì PECVD đẳng tĩnh SEMICERA là sản phẩm than chì có độ tinh khiết cao, mật độ cao được thiết kế để hỗ trợ wafer trong quy trình PECVD (lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma). SEMICERA sử dụng công nghệ ép đẳng tĩnh tiên tiến để đảm bảo thuyền than chì có khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, ổn định kích thước và dẫn nhiệt tốt, là vật tư tiêu hao không thể thiếu trong quá trình sản xuất chất bán dẫn.
Thuyền than chì PECVD đẳng tĩnh SEMICERA có những ưu điểm sau:
▪ Độ tinh khiết cao: Vật liệu than chì có độ tinh khiết cao và hàm lượng tạp chất thấp để tránh làm nhiễm bẩn bề mặt wafer.
▪ Mật độ cao: Mật độ cao, độ bền cơ học cao, có thể chịu được nhiệt độ cao và môi trường chân không cao.
▪ Độ ổn định kích thước tốt: Thay đổi kích thước nhỏ ở nhiệt độ cao để đảm bảo độ ổn định của quy trình.
▪ Độ dẫn nhiệt tuyệt vời: Truyền nhiệt hiệu quả để tránh quá nhiệt cho tấm bán dẫn.
▪ Khả năng chống ăn mòn mạnh: Có khả năng chống ăn mòn bởi các loại khí và plasma ăn mòn khác nhau.
| Thông số hiệu suất | dấu chấm phẩy | SGL R6510 | Thông số hiệu suất |
| Mật độ khối (g/cm3) | 1,91 | 1,83 | 1,85 |
| Độ bền uốn (MPa) | 63 | 60 | 49 |
| Cường độ nén (MPa) | 135 | 130 | 103 |
| Độ cứng bờ (HS) | 70 | 64 | 60 |
| Hệ số giãn nở nhiệt（10-6/K） | 85 | 105 | 130 |
| Hệ số giãn nở nhiệt（10-6/K） | 5,85 | 4.2 | 5.0 |
| Điện trở suất (μΩm) | 13-11 | 13 | 10 |
Ưu điểm khi lựa chọn chúng tôi:
▪ Lựa chọn vật liệu: Sử dụng vật liệu than chì có độ tinh khiết cao để đảm bảo chất lượng sản phẩm.
▪ Công nghệ chế biến: Sử dụng phương pháp ép đẳng tĩnh để đảm bảo độ đặc và độ đồng đều của sản phẩm.
▪ Tùy chỉnh kích thước: Thuyền than chì có kích thước và hình dạng khác nhau có thể được tùy chỉnh theo nhu cầu của khách hàng.
▪ Xử lý bề mặt: Nhiều phương pháp xử lý bề mặt được cung cấp, chẳng hạn như phủ cacbua silic, boron nitrit, v.v., để đáp ứng các yêu cầu quy trình khác nhau.
