Thiết bị cắt vi tia laser (LMJ) có thể được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn

Mô tả ngắn gọn:

Công nghệ Laser microjet (LMJ) là phương pháp xử lý laser kết hợp tia laser với tia nước “mỏng như sợi tóc” và dẫn tia laser một cách chính xác đến vị trí xử lý thông qua phản xạ toàn phần xung trong tia nước siêu nhỏ một cách chính xác. tương tự như cáp quang truyền thống. Tia nước liên tục làm mát khu vực cắt và loại bỏ hiệu quả các mảnh vụn đang xử lý.


Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Ưu điểm của xử lý LMJ

Những khiếm khuyết cố hữu của quá trình xử lý laser thông thường có thể được khắc phục bằng cách sử dụng thông minh công nghệ laser Laser micro jet (LMJ) để truyền các đặc tính quang học của nước và không khí. Công nghệ này cho phép các xung laser được phản xạ hoàn toàn trong tia nước có độ tinh khiết cao được xử lý một cách không bị xáo trộn để tiếp cận bề mặt gia công như trong sợi quang.

Thiết bị xử lý laser microjet-2-3
fcghjdxfrg

Các tính năng chính của công nghệ LMJ là:

1. Chùm tia laser có cấu trúc cột (song song).

2. Xung laser được truyền trong tia nước giống như sợi quang, không có bất kỳ sự can thiệp nào của môi trường.

3. Chùm tia laser được tập trung vào thiết bị LMJ và chiều cao của bề mặt gia công không thay đổi trong toàn bộ quá trình xử lý, do đó không cần tiếp tục lấy nét khi thay đổi độ sâu xử lý trong quá trình xử lý.

4. Làm sạch bề mặt liên tục.

công nghệ cắt laser vi tia (1)

5. Ngoài việc cắt bỏ vật liệu phôi bằng mỗi xung laser, mỗi đơn vị thời gian từ đầu mỗi xung đến xung tiếp theo, vật liệu được xử lý ở trạng thái nước làm mát theo thời gian thực trong khoảng 99% thời gian , gần như loại bỏ vùng ảnh hưởng nhiệt và lớp nấu lại, nhưng vẫn duy trì hiệu quả xử lý cao.

zsdfgafdeg

Đặc điểm chung

LCSA-100

LCSA-200

Khối lượng mặt bàn

125 x 200 x 100

460×460×300

Trục tuyến tính XY

Động cơ tuyến tính. Động cơ tuyến tính

Động cơ tuyến tính. Động cơ tuyến tính

Trục tuyến tính Z

100

300

Độ chính xác định vị μm

+ / - 5

+ / - 3

Độ chính xác định vị lặp lại μm

+ / - 2

+ / - 1

Gia tốc G

0,5

1

Điều khiển số

3 trục

3 trục

Laser

 

 

Loại laze

DPSS Nd: YAG

DPSS Nd: YAG, xung

Bước sóng nm

532/1064

532/1064

Công suất định mức W

50/100/200

200/400

tia nước

 

 

Đường kính vòi phun μm

25-80

25-80

Thanh áp suất vòi phun

100-600

0-600

Kích thước/Trọng lượng

 

 

Kích thước (Máy) (R x D x H)

1050x800x1870

1200x1200x2000

Kích thước (tủ điều khiển) (W x L x H)

700x2300x1600

700x2300x1600

Trọng lượng (thiết bị) kg

1170

2500-3000

Trọng lượng (tủ điều khiển) kg

700-750

700-750

Tiêu thụ năng lượng toàn diện

 

 

Iđầu vào

AC 230 V +6%/ -10%, một chiều 50/60 Hz ±1%

AC 400 V +6%/-10%, 3 pha50/60 Hz ±1%

Giá trị đỉnh

2,5kVA

2,5kVA

Jôi

Cáp nguồn 10 m: P+N+E, 1,5 mm2

Cáp nguồn 10 m: P+N+E, 1,5 mm2

Phạm vi ứng dụng của người dùng ngành bán dẫn

Thỏi tròn 4 inch

Các lát phôi 4 inch

4 inch phôi viết nguệch ngoạc

 

Thỏi tròn 6 inch

Lát phôi 6 inch

Viết nguệch ngoạc phôi 6 inch

Máy đáp ứng giá trị lý thuyết tròn/cắt/cắt 8 inch và kết quả thực tế cụ thể cần được tối ưu hóa chiến lược cắt

ZFVBsdF
công nghệ cắt laser vi tia (1)
công nghệ cắt laser vi tia (2)

Nơi làm việc Semicera Nơi làm việc Semicera 2 Máy thiết bị Xử lý CNN, làm sạch bằng hóa chất, phủ CVD Dịch vụ của chúng tôi


  • Trước:
  • Kế tiếp: