Các màng mỏng dùng trong sản xuất chất bán dẫn đều có điện trở và điện trở của màng ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất của thiết bị. Chúng ta thường không đo điện trở tuyệt đối của màng mà sử dụng điện trở của tấm để mô tả đặc tính của nó.
Điện trở tấm và điện trở khối là gì?
Điện trở suất khối, còn được gọi là điện trở suất khối, là một đặc tính cố hữu của vật liệu, đặc trưng cho mức độ vật liệu cản trở dòng điện. Ký hiệu ρ thường dùng biểu thị, đơn vị là Ω.
Điện trở tấm hay còn gọi là điện trở tấm, tên tiếng Anh là điện trở tấm, dùng để chỉ giá trị điện trở của màng trên một đơn vị diện tích. Ký hiệu thường dùng là Rs hoặc ρs để biểu thị, đơn vị là Ω/sq hoặc Ω/□
Mối quan hệ giữa hai yếu tố này là: điện trở tấm = điện trở suất thể tích/độ dày màng, nghĩa là Rs =ρ/t
Tại sao phải đo điện trở của tấm?
Đo điện trở tuyệt đối của màng đòi hỏi kiến thức chính xác về kích thước hình học của màng (chiều dài, chiều rộng, độ dày), có nhiều biến số và rất phức tạp đối với màng rất mỏng hoặc có hình dạng không đều. Điện trở của tấm chỉ liên quan đến độ dày của màng và có thể được kiểm tra nhanh chóng và trực tiếp mà không cần tính toán kích thước phức tạp.
Những loại phim nào cần đo điện trở tấm?
Nói chung, màng dẫn điện và màng bán dẫn cần phải đo điện trở vuông, còn màng cách điện thì không cần đo.
Trong pha tạp chất bán dẫn, điện trở của tấm silicon cũng được đo.
Làm thế nào để đo điện trở vuông?
Phương pháp bốn đầu dò thường được sử dụng trong công nghiệp. Phương pháp bốn đầu dò có thể đo điện trở vuông trong khoảng từ 1E-3 đến 1E+9Ω/sq. Phương pháp bốn đầu dò có thể tránh được sai số đo do điện trở tiếp xúc giữa đầu dò và mẫu.
Phương pháp đo:
1) Đặt bốn đầu dò được sắp xếp tuyến tính trên bề mặt mẫu.
2) Đặt một dòng điện không đổi giữa hai đầu dò bên ngoài.
3) Xác định điện trở bằng cách đo hiệu điện thế giữa hai đầu dò bên trong
RS: điện trở tấm
ΔV: Thay đổi điện áp đo giữa các đầu dò bên trong
I: Dòng điện áp dụng giữa các đầu dò bên ngoài
Thời gian đăng: 29-03-2024