Trong thiết bị khắc plasma, các bộ phận bằng gốm đóng vai trò quan trọng, bao gồm cả vòng lấy nét. Vòng lấy nét, được đặt xung quanh tấm bán dẫn và tiếp xúc trực tiếp với nó, rất cần thiết để tập trung plasma vào tấm bán dẫn bằng cách đặt điện áp vào vòng. Điều này nâng cao sự không...
Đọc thêm