Giới thiệu chất mang wafer
DANH MỤC SẢN PHẨM
▶Hệ thống mang wafer cho quy trình PECVD & TALOX
• Thuyền than chì PECVD & TALOX (M4~M12)
• Thuyền SM dọc (M4, M6)
• Bộ phận cấy ghép & vòi sen Graphite (M4~M6)
• Khay C/C & Lớp phủ gốm
• Khay RIE kim loại & Lớp phủ gốm
• Niêm phong chân không: O-Ring & SQ-Ring
▶Quá trình chuyển kết cấu và khắc ướt
• LSC H-Carrier hoặc cassette (M4~M12)
• LSC V-Carrier hoặc cassette (M4~M12)
• Giá đỡ hoặc băng cassette ASC (M4, M6)
• Hộp đựng và hộp đựng W/F (M4~M12)
• Dòng bánh xe vận chuyển (Con lăn)
▶Chất mang pin mặt trời & chất mang kim loại
• Hộp đựng hoặc băng cassette TRC (M4~M12)
• Tạp chí (có DƯỚI)
TÀU GRAPHITE (Loại H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
TÀU GRAPHITE (Loại H)
21P6-240CT WF M4~M12)
TÀU GRAPHITE (Loại H)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
TÀU GRAPHITE (Loại H)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
TÀU GRAPHITE (Loại H)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
HỘP ĐỰNG & BẢO QUẢN WF (~M12)
KHAY C/C hoặc VẬN CHUYỂN (M4~M10)
KHAY C/C hoặc VẬN CHUYỂN (M4~M10)
TÀU ĐỨNG (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
XE TẢI ASC (~M6)
XE TẢI TRC(~M12)
XE TẢI TRC(~M12)
TÀU GRAPHITE(M12)
Hệ thống mang wafer cho quy trình PECVD
▶ THUYỀN GRAPHITE (Thiết kế CT) M10/M12 Quy trình
• Ý TƯỞNG THIẾT KẾ ĐẶC BIỆT
► THUYỀN GRAPHITE (CT-Designed) M4/M6 Quy trình
► Phụ tùng TUYỆT VỜI
► THUYỀN DỌC-161.7mm WAFER
► THUYỀN DỌC-166mm WAFER
▶ THUYỀN DỌC-161.7mm, 166mm WAFER
Chất mang pin mặt trời & Chất mang TRC kim loại
LOẠI: Tự động hóa
KÍCH THƯỚC wafer: ① 156×156MM ② 156,75×156,75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
SỬ DỤNG: Mang theo (Cassette)
CÔNG SUẤT : 100 tờ
SÂN: 4.76MM/5.953mm/6.35mm
KÍCH THƯỚC: Khoảng 559×220×220MM
Khoảng 712×260×260MM
ƯU ĐIỂM: Khí quyển
VẬT LIỆU: NGỌN LỬA, BÊN BÊN-Nhôm (anodizing)
TẤM BÊN-POM (Chống tĩnh điện)
Nắp thanh đáy-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (DÒNG NGƯỜI DÙNG)
TRC-METAL CARRIER (DÒNG NGƯỜI DÙNG)
TRC-METAL CARRIER (DÒNG NGƯỜI DÙNG)
VÒI TẮM & CẤY GHÉP, VẬN CHUYỂN
