RTPVòng SiC CVDđược sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực công nghiệp và khoa học ở nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn. Nó đóng một vai trò quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, quang điện tử, máy móc chính xác và công nghiệp hóa chất. Các ứng dụng cụ thể bao gồm:
1. Sản xuất chất bán dẫn:Vòng RTP CVD SiCcó thể được sử dụng để sưởi ấm và làm mát thiết bị bán dẫn, cung cấp khả năng kiểm soát nhiệt độ ổn định và đảm bảo tính chính xác và nhất quán của quy trình.
2. Quang điện tử: Do tính dẫn nhiệt tuyệt vời và khả năng chịu nhiệt độ cao, RTPVòng SiC CVDcó thể được sử dụng làm vật liệu hỗ trợ và tản nhiệt cho tia laser, thiết bị truyền thông cáp quang và các bộ phận quang học.
3. Máy móc chính xác: Vòng RTP CVD SiC có thể được sử dụng cho các dụng cụ và thiết bị chính xác trong môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn, chẳng hạn như lò nung nhiệt độ cao, thiết bị chân không và lò phản ứng hóa học.
4. Công nghiệp hóa chất: Do khả năng chống ăn mòn và ổn định hóa học, vòng RTP CVD SiC có thể được sử dụng trong các thùng chứa, đường ống và lò phản ứng trong các phản ứng hóa học và quá trình xúc tác.
Hệ thống Epi
Hệ thống RTP
Hệ thống CVD
Hiệu suất sản phẩm:
1. Đáp ứng quy trình dưới 28nm
2. Khả năng chống ăn mòn siêu cao
3. Hiệu suất siêu sạch
4. Siêu cứng
5. Mật độ cao
6. Chịu nhiệt độ cao
7. Chống mài mòn
Ứng dụng sản phẩm:
Vật liệu cacbua silic có đặc tính độ cứng cao, chống mài mòn, chống ăn mòn và ổn định nhiệt độ cao. Các sản phẩm có hiệu suất toàn diện tuyệt vời được sử dụng rộng rãi trong các quy trình khắc khô và TF/Khuếch tán.
Hiệu suất sản phẩm:
1. Đáp ứng quy trình dưới 28nm
2. Khả năng chống ăn mòn siêu cao
3. Hiệu suất siêu sạch
4. Siêu cứng
5. Mật độ cao
6. Chịu nhiệt độ cao
7. Chống mài mòn
Phát triển quy trình tổng hợp:
• Lớp phủ than chì +SiC
• SiC CVD rắn
• SiC+CVD thiêu kết
• SiC thiêu kết Sic
Phát triển nhiều loại sản phẩm:
• Nhẫn
• Bàn
• Chất nhạy cảm
• Đầu vòi hoa sen
