Chất nhạy cảm thùng tráng silicon cacbua cho epiticular wafer

Chất nhạy cảm thùng được phủ silicon cacbua cho tấm wafer Epiticular Hình ảnh nổi bật

Mô tả ngắn gọn:

Semicera cung cấp đầy đủ các chất có tính nhạy cảm và các thành phần than chì được thiết kế cho các lò phản ứng epitaxy khác nhau.

Thông qua quan hệ đối tác chiến lược với các OEM đầu ngành, kiến thức chuyên môn sâu rộng về vật liệu và khả năng sản xuất tiên tiến, Semicera cung cấp các thiết kế phù hợp để đáp ứng các yêu cầu cụ thể cho ứng dụng của bạn. Cam kết của chúng tôi về sự xuất sắc đảm bảo rằng bạn nhận được các giải pháp tối ưu cho nhu cầu lò phản ứng epitaxy của mình.

Gửi email cho chúng tôi

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Công ty chúng tôi cung cấplớp phủ SiCxử lý các dịch vụ trên bề mặt than chì, gốm sứ và các vật liệu khác bằng phương pháp CVD, để các khí đặc biệt chứa carbon và silicon có thể phản ứng ở nhiệt độ cao để thu được các phân tử Sic có độ tinh khiết cao, có thể lắng đọng trên bề mặt vật liệu phủ để tạo thành mộtLớp bảo vệ SiCcho loại thùng epitaxy hy pnotic.

Các tính năng chính:

1. Than chì phủ SiC có độ tinh khiết cao

2. Khả năng chịu nhiệt vượt trội và độ đồng đều nhiệt

3. Tốt thôiPhủ tinh thể SiCcho một bề mặt mịn màng

4. Độ bền cao trước khả năng làm sạch bằng hóa chất

Chất nhạy cảm thùng tráng SiC cho epiticular wafer

Thông số kỹ thuật chính củaLớp phủ CVD-SIC

Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC
Tỉ trọng	g/cm³	3,21
độ cứng	Độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	mm	2~10
Độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Công suất nhiệt	J·kg-1 ·K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	oC	2700
Sức mạnh cảm giác	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô-đun của Young	Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC)	430
Giãn nở nhiệt (CTE)	10-6K-1	4,5
Độ dẫn nhiệt	(W/mK)	300