Semiceragiới thiệuCassette bán dẫn, một công cụ thiết yếu để xử lý các tấm bán dẫn một cách an toàn và hiệu quả trong suốt quá trình sản xuất chất bán dẫn. Được thiết kế với độ chính xác cao, băng cassette này đảm bảo rằng các tấm wafer của bạn được lưu trữ và vận chuyển an toàn, duy trì tính toàn vẹn của chúng ở mọi giai đoạn.
Bảo vệ và độ bền vượt trộicácCassette bán dẫntừ Semicera được thiết kế để mang lại sự bảo vệ tối đa cho tấm bán dẫn của bạn. Được chế tạo từ các vật liệu chắc chắn, chống nhiễm bẩn, nó bảo vệ tấm wafer của bạn khỏi bị hư hại và nhiễm bẩn tiềm ẩn, khiến nó trở thành lựa chọn lý tưởng cho môi trường phòng sạch. Thiết kế của cassette giảm thiểu việc tạo ra các hạt và đảm bảo rằng các tấm wafer vẫn nguyên vẹn và an toàn trong quá trình xử lý và vận chuyển.
Thiết kế nâng cao cho hiệu suất tối ưucủa SemiceraCassette bán dẫncó thiết kế được thiết kế tỉ mỉ giúp cung cấp sự liên kết wafer chính xác, giảm nguy cơ sai lệch và hư hỏng cơ học. Các khe của băng cassette được bố trí cách đều nhau để giữ từng tấm wafer một cách an toàn, ngăn chặn mọi chuyển động có thể dẫn đến trầy xước hoặc các khuyết điểm khác.
Tính linh hoạt và khả năng tương thíchcácCassette bán dẫnrất linh hoạt và tương thích với nhiều kích cỡ wafer khác nhau, làm cho nó phù hợp với các giai đoạn chế tạo chất bán dẫn khác nhau. Cho dù bạn đang làm việc với kích thước wafer tiêu chuẩn hay tùy chỉnh, băng cassette này sẽ điều chỉnh theo nhu cầu của bạn, mang lại sự linh hoạt trong quy trình sản xuất của bạn.
Xử lý hợp lý và hiệu quảĐược thiết kế hướng tới người dùng,Cassette bán dẫn Semiceranhẹ và dễ điều khiển, cho phép tải và dỡ hàng nhanh chóng và hiệu quả. Thiết kế tiện dụng này không chỉ tiết kiệm thời gian mà còn giảm nguy cơ lỗi của con người, đảm bảo hoạt động trơn tru trong cơ sở của bạn.
Đáp ứng các tiêu chuẩn ngànhSemicera đảm bảo rằngCassette bán dẫnđáp ứng các tiêu chuẩn công nghiệp cao nhất về chất lượng và độ tin cậy. Mỗi băng cassette đều trải qua quá trình kiểm tra nghiêm ngặt để đảm bảo rằng nó hoạt động ổn định trong các điều kiện khắt khe của sản xuất chất bán dẫn. Sự cống hiến cho chất lượng này đảm bảo rằng các tấm wafer của bạn luôn được bảo vệ, duy trì các tiêu chuẩn cao cần thiết trong ngành.
| Mặt hàng | Sản xuất | Nghiên cứu | giả |
| Thông số tinh thể | |||
| đa hình | 4H | ||
| Lỗi định hướng bề mặt | <11-20 >4±0,15° | ||
| Thông số điện | |||
| Dopant | Nitơ loại n | ||
| Điện trở suất | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Thông số cơ học | |||
| Đường kính | 150,0±0,2mm | ||
| độ dày | 350±25 mm | ||
| Hướng phẳng chính | [1-100]±5° | ||
| Chiều dài phẳng chính | 47,5 ± 1,5mm | ||
| Căn hộ thứ cấp | Không có | ||
| TTV | 5 mm | 10 mm | 15 mm |
| LTV | 3 mm(5mm*5mm) | 5 mm(5mm*5mm) | 10 m(5mm*5mm) |
| Cây cung | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Làm cong vênh | 35 mm | 45 mm | 55 mm |
| Độ nhám mặt trước (Si-face) (AFM) | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Kết cấu | |||
| Mật độ micropipe | <1 cái/cm2 | <10 cái/cm2 | <15 cái/cm2 |
| Tạp chất kim loại | 5E10 nguyên tử/cm2 | NA | |
| BPD | 1500 cái/cm2 | 3000 cái/cm2 | NA |
| TSD | 500 cái/cm2 | 1000 cái/cm2 | NA |
| Chất lượng mặt trước | |||
| Đằng trước | Si | ||
| Bề mặt hoàn thiện | Si-mặt CMP | ||
| hạt | 60ea/bánh xốp (kích thước ≥0,3μm) | NA | |
| Vết xước | 5ea/mm. Chiều dài tích lũy ≤ Đường kính | Chiều dài tích lũy<2*Đường kính | NA |
| Vỏ cam/hố/vết bẩn/vết nứt/vết nứt/nhiễm bẩn | Không có | NA | |
| Chip cạnh/vết lõm/gãy/tấm lục giác | Không có | ||
| Khu vực đa dạng | Không có | Diện tích tích lũy<20% | Diện tích tích lũy<30% |
| Đánh dấu laser phía trước | Không có | ||
| Trở lại Chất lượng | |||
| Kết thúc trở lại | CMP mặt chữ C | ||
| Vết xước | 5ea / mm, Chiều dài tích lũy 2 * Đường kính | NA | |
| Khuyết tật ở mặt sau (lỗi ở cạnh/vết lõm) | Không có | ||
| Độ nhám lưng | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Đánh dấu laser phía sau | 1 mm (từ cạnh trên) | ||
| Bờ rìa | |||
| Bờ rìa | vát mép | ||
| Bao bì | |||
| Bao bì | Sẵn sàng cho Epi với bao bì chân không Bao bì cassette nhiều wafer | ||
| *Lưu ý: "NA" nghĩa là không có yêu cầu. Các mục không được đề cập có thể ám chỉ SEMI-STD. | |||
