của Semiceramái chèo SiCđược thiết kế để giãn nở nhiệt ở mức tối thiểu, mang lại sự ổn định và chính xác trong các quy trình trong đó độ chính xác về kích thước là rất quan trọng. Điều này làm cho chúng trở nên lý tưởng cho các ứng dụng trong đóbánh xốpphải trải qua các chu kỳ làm nóng và làm mát lặp đi lặp lại, vì thuyền bán dẫn duy trì tính toàn vẹn về cấu trúc, đảm bảo hiệu suất ổn định.
Kết hợp Semiceramái chèo khuếch tán cacbua silicvào dây chuyền sản xuất của bạn sẽ nâng cao độ tin cậy của quy trình nhờ các đặc tính nhiệt và hóa học vượt trội của chúng. Những cánh khuấy này hoàn hảo cho các quá trình khuếch tán, oxy hóa và ủ, đảm bảo rằng các tấm bán dẫn được xử lý cẩn thận và chính xác trong từng bước.
Đổi mới là cốt lõi của SemiceraMái chèo SiCthiết kế. Những cánh khuấy này được thiết kế để phù hợp hoàn toàn với thiết bị bán dẫn hiện có, mang lại hiệu quả xử lý nâng cao. Cấu trúc nhẹ và thiết kế tiện dụng không chỉ cải thiện khả năng vận chuyển tấm bán dẫn mà còn giảm thời gian ngừng hoạt động, dẫn đến sản xuất hợp lý.
| Tính chất vật lý của cacbua silic kết tinh | |
| Tài sản | Giá trị điển hình |
| Nhiệt độ làm việc (° C) | 1600°C (có oxy), 1700°C (môi trường khử) |
| Nội dung SiC | > 99,96% |
| Nội dung Si miễn phí | < 0,1% |
| Mật độ lớn | 2,60-2,70 g/cm33 |
| Độ xốp rõ ràng | < 16% |
| Cường độ nén | > 600 MPa |
| Độ bền uốn nguội | 80-90 MPa (20°C) |
| Độ bền uốn nóng | 90-100 MPa (1400°C) |
| Giãn nở nhiệt @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Độ dẫn nhiệt @1200°C | 23 W/m·K |
| mô đun đàn hồi | 240 GPa |
| Chống sốc nhiệt | Cực kỳ tốt |
