Mái chèo SiC Cantileverđang được sử dụng trong lò phủ khuếch tán của ngành công nghiệp quang điện để phủ các tấm silicon đơn tinh thể và đa tinh thể. Đặc tính của nó cho phép nó chịu được nhiệt độ cao và ăn mòn, mang lại tuổi thọ dài.
cácMái chèo SiC Cantilevercung cấp thuyền SiC/thuyền thạch anh chở tấm silicon vào ống lò phủ khuếch tán nhiệt độ cao.
Chiều dài của chúng tôiMái chèo SiC Cantileverphạm vi từ 1.500 đến 3.500 mm.Mái chèo SiC Cantileverkích thước có thể được thiết kế riêng theo đặc điểm kỹ thuật của khách hàng.
Tính chất vật lý của cacbua silic kết tinh | |
Tài sản | Giá trị điển hình |
Nhiệt độ làm việc (° C) | 1600°C (có oxy), 1700°C (môi trường khử) |
Nội dung SiC | > 99,96% |
Nội dung Si miễn phí | < 0,1% |
Mật độ lớn | 2,60-2,70 g/cm33 |
Độ xốp rõ ràng | < 16% |
Cường độ nén | > 600 MPa |
Độ bền uốn nguội | 80-90 MPa (20°C) |
Độ bền uốn nóng | 90-100 MPa (1400°C) |
Giãn nở nhiệt @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Độ dẫn nhiệt @1200°C | 23 W/m·K |
mô đun đàn hồi | 240 GPa |
Chống sốc nhiệt | Cực kỳ tốt |