Sự miêu tả
Các vật mang wafer Semicorex với lớp phủ SiC mang lại độ ổn định và độ dẫn nhiệt đặc biệt, đảm bảo phân phối nhiệt đồng đều trong các quy trình CVD, rất quan trọng đối với các đặc tính lớp phủ và màng mỏng chất lượng cao.
Các tính năng chính:
1. Độ ổn định và dẫn nhiệt vượt trộiCác vật mang bán dẫn được phủ SiC của chúng tôi vượt trội trong việc duy trì nhiệt độ ổn định và nhất quán, điều này rất quan trọng đối với các quy trình CVD. Điều này đảm bảo phân phối nhiệt đồng đều, dẫn đến chất lượng màng mỏng và lớp phủ vượt trội.
2. Sản xuất chính xácMỗi chất mang wafer được sản xuất theo tiêu chuẩn chính xác, đảm bảo độ dày đồng đều và độ mịn bề mặt. Độ chính xác này rất quan trọng để đạt được tốc độ lắng đọng và đặc tính màng ổn định trên nhiều tấm bán dẫn, nâng cao chất lượng sản xuất tổng thể.
3. Rào cản tạp chấtLớp phủ SiC hoạt động như một rào cản không thấm nước, ngăn chặn sự khuếch tán tạp chất từ chất nhạy cảm vào tấm bán dẫn. Điều này giảm thiểu rủi ro ô nhiễm, điều này rất quan trọng để sản xuất các thiết bị bán dẫn có độ tinh khiết cao.
4. Độ bền và hiệu quả chi phíCấu trúc chắc chắn và lớp phủ SiC giúp nâng cao độ bền của các chất mang bán dẫn, giảm tần suất thay thế thiết bị cảm ứng. Điều này dẫn đến chi phí bảo trì thấp hơn và giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động, tăng hiệu quả hoạt động sản xuất chất bán dẫn.
5. Tùy chọn tùy chỉnhCác vật mang wafer Semicorex có lớp phủ SiC có thể được tùy chỉnh để đáp ứng các yêu cầu quy trình cụ thể, bao gồm các biến thể về kích thước, hình dạng và độ dày lớp phủ. Tính linh hoạt này cho phép tối ưu hóa chất có tính nhạy để phù hợp với nhu cầu riêng của các quy trình chế tạo chất bán dẫn khác nhau. Các tùy chọn tùy chỉnh cho phép phát triển các thiết kế cảm biến phù hợp với các ứng dụng chuyên biệt, chẳng hạn như sản xuất hoặc nghiên cứu và phát triển khối lượng lớn, đảm bảo hiệu suất tối ưu cho các trường hợp sử dụng cụ thể.
Ứng dụng:
Các vật mang bán dẫn bán dẫn Semicera có lớp phủ SiC rất phù hợp cho:
• Tăng trưởng epiticular của vật liệu bán dẫn
• Quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD)
• Sản xuất tấm bán dẫn chất lượng cao
• Ứng dụng sản xuất chất bán dẫn tiên tiến