Sự miêu tả
Các chất nhạy cảm với than chì được phủ SiC của Semicera được thiết kế bằng cách sử dụng chất nền than chì chất lượng cao, được phủ một cách tỉ mỉ bằng Silicon Carbide (SiC) thông qua quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) tiên tiến. Thiết kế cải tiến này đảm bảo khả năng chống sốc nhiệt và phân hủy hóa học đặc biệt, kéo dài đáng kể tuổi thọ của chất nhạy cảm bằng than chì được phủ SiC và đảm bảo hiệu suất đáng tin cậy trong suốt quá trình sản xuất chất bán dẫn.
Các tính năng chính:
1. Độ dẫn nhiệt vượt trộiChất nhạy cảm bằng than chì được phủ SiC thể hiện tính dẫn nhiệt vượt trội, điều này rất quan trọng để tản nhiệt hiệu quả trong quá trình sản xuất chất bán dẫn. Tính năng này giảm thiểu độ dốc nhiệt trên bề mặt tấm bán dẫn, thúc đẩy sự phân bổ nhiệt độ đồng đều cần thiết để đạt được các đặc tính bán dẫn mong muốn.
2. Khả năng chống sốc hóa chất và nhiệt mạnh mẽLớp phủ SiC cung cấp khả năng bảo vệ vượt trội chống lại sự ăn mòn hóa học và sốc nhiệt, duy trì tính toàn vẹn của chất nhạy cảm than chì ngay cả trong môi trường xử lý khắc nghiệt. Độ bền được nâng cao này giúp giảm thời gian ngừng hoạt động và kéo dài tuổi thọ, góp phần tăng năng suất và tiết kiệm chi phí trong các cơ sở sản xuất chất bán dẫn.
3. Tùy chỉnh theo nhu cầu cụ thểCác chất nhạy cảm bằng than chì được phủ SiC của chúng tôi có thể được điều chỉnh để đáp ứng các yêu cầu và sở thích cụ thể. Chúng tôi cung cấp nhiều tùy chọn tùy chỉnh, bao gồm điều chỉnh kích thước và thay đổi độ dày lớp phủ, để đảm bảo tính linh hoạt trong thiết kế và hiệu suất tối ưu cho các ứng dụng và thông số quy trình khác nhau.
Ứng dụng:
Ứng dụng Lớp phủ Semicera SiC được sử dụng trong các giai đoạn khác nhau của sản xuất chất bán dẫn, bao gồm:
1. -Chế tạo chip LED
2. -Sản xuất Polysilicon
3. -Tăng trưởng tinh thể bán dẫn
4. -Silicon và SiC Epitaxy
5. -Quá trình oxy hóa và khuếch tán nhiệt (TO&D)
Thông số kỹ thuật:
