của SemiceraEpitaxy cacbua silicđược thiết kế để đáp ứng nhu cầu khắt khe của các ứng dụng bán dẫn hiện đại. Bằng cách sử dụng các kỹ thuật tăng trưởng epiticular tiên tiến, chúng tôi đảm bảo rằng mỗi lớp cacbua silic thể hiện chất lượng tinh thể đặc biệt, tính đồng nhất và mật độ khuyết tật tối thiểu. Những đặc điểm này rất quan trọng để phát triển các thiết bị điện tử công suất hiệu suất cao, trong đó hiệu suất và quản lý nhiệt là tối quan trọng.
cácEpitaxy cacbua silicquy trình tại Semicera được tối ưu hóa để tạo ra các lớp epiticular với độ dày và kiểm soát doping chính xác, đảm bảo hiệu suất ổn định trên nhiều loại thiết bị. Mức độ chính xác này rất cần thiết cho các ứng dụng trong xe điện, hệ thống năng lượng tái tạo và truyền thông tần số cao, nơi độ tin cậy và hiệu quả là rất quan trọng.
Hơn nữa, SemiceraEpitaxy cacbua silicmang lại khả năng dẫn nhiệt nâng cao và điện áp đánh thủng cao hơn, khiến nó trở thành lựa chọn ưu tiên cho các thiết bị hoạt động trong điều kiện khắc nghiệt. Những đặc tính này góp phần kéo dài tuổi thọ thiết bị và cải thiện hiệu suất tổng thể của hệ thống, đặc biệt là trong môi trường năng lượng cao và nhiệt độ cao.
Semicera cũng cung cấp các tùy chọn tùy chỉnh choEpitaxy cacbua silic, cho phép đưa ra các giải pháp phù hợp nhằm đáp ứng các yêu cầu cụ thể của thiết bị. Dù phục vụ mục đích nghiên cứu hay sản xuất quy mô lớn, các lớp epiticular của chúng tôi đều được thiết kế để hỗ trợ thế hệ cải tiến chất bán dẫn tiếp theo, cho phép phát triển các thiết bị điện tử mạnh hơn, hiệu quả hơn và đáng tin cậy hơn.
Bằng cách tích hợp công nghệ tiên tiến và quy trình kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt, Semicera đảm bảo rằng chúng tôiEpitaxy cacbua silicsản phẩm không chỉ đáp ứng mà còn vượt tiêu chuẩn ngành. Cam kết đạt đến sự xuất sắc này làm cho các lớp epiticular của chúng tôi trở thành nền tảng lý tưởng cho các ứng dụng bán dẫn tiên tiến, mở đường cho những đột phá trong lĩnh vực điện tử công suất và quang điện tử.
| Mặt hàng | Sản xuất | Nghiên cứu | giả |
| Thông số tinh thể | |||
| đa hình | 4H | ||
| Lỗi định hướng bề mặt | <11-20 >4±0,15° | ||
| Thông số điện | |||
| Dopant | Nitơ loại n | ||
| Điện trở suất | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Thông số cơ học | |||
| Đường kính | 150,0±0,2mm | ||
| độ dày | 350±25 mm | ||
| Hướng phẳng chính | [1-100]±5° | ||
| Chiều dài phẳng chính | 47,5 ± 1,5mm | ||
| Căn hộ thứ cấp | Không có | ||
| TTV | 5 mm | 10 mm | 15 mm |
| LTV | 3 mm(5mm*5mm) | 5 mm(5mm*5mm) | 10 m(5mm*5mm) |
| Cây cung | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Làm cong vênh | 35 mm | 45 mm | 55 mm |
| Độ nhám mặt trước (Si-face) (AFM) | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Kết cấu | |||
| Mật độ micropipe | <1 cái/cm2 | <10 cái/cm2 | <15 cái/cm2 |
| Tạp chất kim loại | 5E10 nguyên tử/cm2 | NA | |
| BPD | 1500 cái/cm2 | 3000 cái/cm2 | NA |
| TSD | 500 cái/cm2 | 1000 cái/cm2 | NA |
| Chất lượng mặt trước | |||
| Đằng trước | Si | ||
| Bề mặt hoàn thiện | Si-mặt CMP | ||
| hạt | 60ea/bánh xốp (kích thước ≥0,3μm) | NA | |
| Vết xước | 5ea/mm. Chiều dài tích lũy ≤ Đường kính | Chiều dài tích lũy<2*Đường kính | NA |
| Vỏ cam/hố/vết bẩn/vết nứt/vết nứt/ô nhiễm | Không có | NA | |
| Chip cạnh/vết lõm/gãy/tấm lục giác | Không có | ||
| Khu vực đa dạng | Không có | Diện tích tích lũy<20% | Diện tích tích lũy<30% |
| Đánh dấu laser phía trước | Không có | ||
| Trở lại Chất lượng | |||
| Kết thúc trở lại | CMP mặt chữ C | ||
| Vết xước | 5ea / mm, Chiều dài tích lũy 2 * Đường kính | NA | |
| Khuyết tật ở mặt sau (lỗi ở cạnh/vết lõm) | Không có | ||
| Độ nhám lưng | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Đánh dấu laser phía sau | 1 mm (từ cạnh trên) | ||
| Bờ rìa | |||
| Bờ rìa | vát mép | ||
| Bao bì | |||
| Bao bì | Sẵn sàng cho Epi với bao bì chân không Bao bì cassette nhiều wafer | ||
| *Lưu ý: "NA" nghĩa là không có yêu cầu. Các mục không được đề cập có thể ám chỉ SEMI-STD. | |||
