Giới thiệu Tấm Thuyền ngang Silicon Carbide hiện đại của chúng tôi, được thiết kế tỉ mỉ cho các ứng dụng xử lý tấm bán dẫn của ngành công nghiệp bán dẫn. Được chế tạo từ cacbua silic tốt nhất, tấm thuyền ngang của chúng tôi nổi bật nhờ đặc tính nhiệt vượt trội, khả năng kháng hóa chất và độ bền cơ học. Lý tưởng cho các quy trình nhiệt độ cao, tấm thuyền này được thiết kế để mang lại hiệu suất vượt trội, đảm bảo độ chính xác và hiệu quả trong mọi lần sử dụng.
Độ bền vượt trội:Được làm từ cacbua silic có độ tinh khiết cao, tấm thuyềnđược thiết kế để chịu được nhiệt độ khắc nghiệt lên đến1600°C, mang lại độ bền và tuổi thọ tuyệt vời.
Phân phối nhiệt đồng đều:Độ dẫn nhiệt của cacbua silic đảm bảo phân phối nhiệt đều trên tấm, rất quan trọng để duy trì tính nhất quán của quy trình và đạt được sản xuất wafer chất lượng cao.
Kháng hóa chất:Chịu được hóa chất ăn mòn và môi trường khắc nghiệt, tấm thuyền của chúng tôi duy trì tính toàn vẹn và hiệu suất, ngay cả trong các ứng dụng xử lý chất bán dẫn đòi hỏi khắt khe nhất.
Độ bền cơ học cao:Cấu trúc vững chắc của chúng tôitấm thuyềnđảm bảo độ bền cơ học và khả năng chống mài mòn tuyệt vời, giảm nguy cơ hư hỏng và nhu cầu thay thế thường xuyên.
Ứng dụng:
Của chúng tôiTấm thuyền ngang silicon cacbuahoàn hảo cho nhiều quy trình nhiệt độ cao trong sản xuất chất bán dẫn, bao gồm nhưng không giới hạn ở các quy trình khuếch tán, oxy hóa, cấy ion và CVD.Thiết kế và vật liệu của nó đảm bảo nó có thể hỗ trợ các yêu cầu chính xác của quá trình xử lý tấm bán dẫn, khiến nó trở thành thành phần thiết yếu cho dây chuyền sản xuất chất bán dẫn.