Tổng quan về sản phẩm
cácMái chèo và tấm wafer được tẩm silicon (SiC)được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu khắt khe của các ứng dụng xử lý nhiệt bán dẫn. Được chế tạo từ SiC có độ tinh khiết cao và được tăng cường thông qua quá trình ngâm tẩm silicon, sản phẩm này mang đến sự kết hợp độc đáo giữa hiệu suất nhiệt độ cao, tính dẫn nhiệt tuyệt vời, khả năng chống ăn mòn và độ bền cơ học vượt trội.
Bằng cách tích hợp khoa học vật liệu tiên tiến với quy trình sản xuất chính xác, giải pháp này đảm bảo hiệu suất, độ tin cậy và độ bền vượt trội cho các nhà sản xuất chất bán dẫn.
Các tính năng chính
1.Khả năng chịu nhiệt độ cao đặc biệt
Với điểm nóng chảy trên 2700°C, vật liệu SiC vốn đã ổn định ở nhiệt độ cực cao. Việc ngâm tẩm silicon tăng cường hơn nữa độ ổn định nhiệt của chúng, cho phép chúng chịu được sự tiếp xúc kéo dài với nhiệt độ cao mà không làm suy yếu cấu trúc hoặc suy giảm hiệu suất.
2.Độ dẫn nhiệt vượt trội
Khả năng dẫn nhiệt đặc biệt của SiC tẩm silicon đảm bảo phân phối nhiệt đồng đều, giảm ứng suất nhiệt trong các giai đoạn xử lý quan trọng. Đặc tính này giúp kéo dài tuổi thọ của thiết bị và giảm thiểu thời gian ngừng sản xuất, khiến nó trở nên lý tưởng cho quá trình xử lý nhiệt ở nhiệt độ cao.
3.Chống oxy hóa và ăn mòn
Một lớp oxit silic mạnh mẽ hình thành một cách tự nhiên trên bề mặt, mang lại khả năng chống oxy hóa và ăn mòn vượt trội. Điều này đảm bảo độ tin cậy lâu dài trong môi trường hoạt động khắc nghiệt, bảo vệ cả vật liệu và các bộ phận xung quanh.
4.Độ bền cơ học cao và chống mài mòn
SiC tẩm silicon có độ bền nén và khả năng chống mài mòn tuyệt vời, duy trì tính toàn vẹn cấu trúc của nó trong điều kiện nhiệt độ cao, tải trọng cao. Điều này làm giảm nguy cơ hư hỏng do mài mòn, đảm bảo hiệu suất ổn định trong các chu kỳ sử dụng kéo dài.
Thông số kỹ thuật
| Tên sản phẩm | SC-RSiC-Si |
| Vật liệu | Silicon tẩm Silicon Carbide Compact (độ tinh khiết cao) |
| Ứng dụng | Bộ phận xử lý nhiệt bán dẫn, bộ phận thiết bị sản xuất chất bán dẫn |
| Hình thức giao hàng | Thân đúc (Thân thiêu kết) |
| Thành phần | Thuộc tính cơ khí | Mô đun Young (GPa) | Sức mạnh uốn (MPa) | ||
| Thành phần (khối lượng%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Mật độ khối (kg/m³) | 3,02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Nhiệt độ chịu nhiệt°C | 1350 | Tỷ lệ Poisson | 0,18(RT) | ||
| Tính chất nhiệt | Độ dẫn nhiệt (W/(m·K)) | Công suất nhiệt cụ thể (kJ/(kg·K)) | Hệ số giãn nở nhiệt (1/K) | ||
| RT | 220 | 0,7 | RT~700°C | 3,4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1,23 | 700~1200°C | 4,3 x10-6 | |
| Nội dung tạp chất ((ppm) | |||||||||||||
| Yếu tố | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Tỷ lệ nội dung | 3 | <2 | <0,5 | <0,1 | <1 | 5 | 0,3 | <0,1 | <0,1 | <0,1 | <0,3 | <0,3 | 25 |
Ứng dụng
▪Xử lý nhiệt bán dẫn:Lý tưởng cho các quy trình như lắng đọng hơi hóa học (CVD), tăng trưởng epiticular và ủ, trong đó việc kiểm soát nhiệt độ chính xác và độ bền của vật liệu là rất quan trọng.
▪Người vận chuyển wafer & mái chèo:Được thiết kế để giữ và vận chuyển các tấm bán dẫn một cách an toàn trong quá trình xử lý nhiệt ở nhiệt độ cao.
▪Môi trường hoạt động khắc nghiệt: Thích hợp cho các môi trường yêu cầu khả năng chịu nhiệt, tiếp xúc với hóa chất và ứng suất cơ học.
Ưu điểm của SiC tẩm Silicon
Sự kết hợp giữa cacbua silic có độ tinh khiết cao và công nghệ ngâm tẩm silicon tiên tiến mang lại những lợi ích hiệu suất tuyệt vời:
▪Độ chính xác:Tăng cường độ chính xác và kiểm soát quá trình xử lý chất bán dẫn.
▪Sự ổn định:Chịu được môi trường khắc nghiệt mà không ảnh hưởng đến chức năng.
▪Tuổi thọ:Kéo dài tuổi thọ của thiết bị sản xuất chất bán dẫn.
▪Hiệu quả:Cải thiện năng suất bằng cách đảm bảo kết quả đáng tin cậy và nhất quán.
Tại sao chọn giải pháp SiC tẩm silicon của chúng tôi?
At Semicera, chúng tôi chuyên cung cấp các giải pháp hiệu suất cao phù hợp với nhu cầu của các nhà sản xuất chất bán dẫn. Mái chèo và tấm wafer silicon tẩm silicon của chúng tôi trải qua quá trình kiểm tra nghiêm ngặt và đảm bảo chất lượng để đáp ứng các tiêu chuẩn ngành. Bằng cách chọn Semicera, bạn có quyền truy cập vào các vật liệu tiên tiến được thiết kế để tối ưu hóa quy trình sản xuất và nâng cao khả năng sản xuất của bạn.
Thông số kỹ thuật
▪Thành phần vật liệu:Cacbua silic có độ tinh khiết cao được tẩm silicon.
▪Phạm vi nhiệt độ hoạt động:Lên đến 2700°C.
▪ Độ dẫn nhiệt:Đặc biệt cao để phân phối nhiệt đồng đều.
▪Thuộc tính kháng chiến:Chống oxy hóa, ăn mòn và chống mài mòn.
▪Ứng dụng:Tương thích với các hệ thống xử lý nhiệt bán dẫn khác nhau.
Liên hệ với chúng tôi
Bạn đã sẵn sàng nâng cao quy trình sản xuất chất bán dẫn của mình chưa? Liên hệSemicerangay hôm nay để tìm hiểu thêm về Tấm lót wafer và mái chèo bằng silicon cacbua tẩm silicon của chúng tôi.
▪E-mail: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Điện thoại: +86-0574-8650 3783
▪Vị trí:Số 1958 Đường Giang Nam, Khu công nghệ cao Ninh Ba, Khu, Tỉnh Chiết Giang, 315201, Trung Quốc
