Tấm wafer SOI (Silicon On Insulator) của Semicera được thiết kế để mang lại hiệu suất cách điện và nhiệt vượt trội. Cấu trúc wafer cải tiến này, nổi bật với lớp silicon trên lớp cách điện, đảm bảo hiệu suất thiết bị được nâng cao và giảm mức tiêu thụ điện năng, khiến nó trở nên lý tưởng cho nhiều ứng dụng công nghệ cao.
Tấm wafer SOI của chúng tôi mang lại lợi ích đặc biệt cho các mạch tích hợp bằng cách giảm thiểu điện dung ký sinh và cải thiện tốc độ cũng như hiệu suất của thiết bị. Điều này rất quan trọng đối với các thiết bị điện tử hiện đại, nơi hiệu suất cao và hiệu quả sử dụng năng lượng là điều cần thiết cho cả ứng dụng tiêu dùng và công nghiệp.
Semicera sử dụng các kỹ thuật sản xuất tiên tiến để sản xuất tấm wafer SOI với chất lượng và độ tin cậy ổn định. Những tấm wafer này cung cấp khả năng cách nhiệt tuyệt vời, khiến chúng phù hợp để sử dụng trong những môi trường cần quan tâm đến khả năng tản nhiệt, chẳng hạn như trong các thiết bị điện tử mật độ cao và hệ thống quản lý năng lượng.
Việc sử dụng tấm wafer SOI trong chế tạo chất bán dẫn cho phép phát triển các chip nhỏ hơn, nhanh hơn và đáng tin cậy hơn. Cam kết của Semicera đối với kỹ thuật chính xác đảm bảo rằng các tấm wafer SOI của chúng tôi đáp ứng các tiêu chuẩn cao cần thiết cho các công nghệ tiên tiến trong các lĩnh vực như viễn thông, ô tô và điện tử tiêu dùng.
Chọn SOI wafer của Semicera có nghĩa là đầu tư vào một sản phẩm hỗ trợ sự tiến bộ của công nghệ điện tử và vi điện tử. Tấm wafer của chúng tôi được thiết kế để nâng cao hiệu suất và độ bền, góp phần vào sự thành công của các dự án công nghệ cao của bạn và đảm bảo rằng bạn luôn đi đầu trong đổi mới.
| Mặt hàng | Sản xuất | Nghiên cứu | giả |
| Thông số tinh thể | |||
| đa hình | 4H | ||
| Lỗi định hướng bề mặt | <11-20 >4±0,15° | ||
| Thông số điện | |||
| Dopant | Nitơ loại n | ||
| Điện trở suất | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Thông số cơ học | |||
| Đường kính | 150,0±0,2mm | ||
| độ dày | 350±25 mm | ||
| Hướng phẳng chính | [1-100]±5° | ||
| Chiều dài phẳng chính | 47,5 ± 1,5mm | ||
| Căn hộ thứ cấp | Không có | ||
| TTV | 5 mm | 10 mm | 15 mm |
| LTV | 3 mm(5mm*5mm) | 5 mm(5mm*5mm) | 10 m(5mm*5mm) |
| Cây cung | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Làm cong vênh | 35 mm | 45 mm | 55 mm |
| Độ nhám mặt trước (Si-face) (AFM) | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Kết cấu | |||
| Mật độ micropipe | <1 cái/cm2 | <10 cái/cm2 | <15 cái/cm2 |
| Tạp chất kim loại | 5E10 nguyên tử/cm2 | NA | |
| BPD | 1500 cái/cm2 | 3000 cái/cm2 | NA |
| TSD | 500 cái/cm2 | 1000 cái/cm2 | NA |
| Chất lượng mặt trước | |||
| Đằng trước | Si | ||
| Bề mặt hoàn thiện | Si-mặt CMP | ||
| hạt | 60ea/bánh xốp (kích thước ≥0,3μm) | NA | |
| Vết xước | 5ea/mm. Chiều dài tích lũy ≤ Đường kính | Chiều dài tích lũy<2*Đường kính | NA |
| Vỏ cam/hố/vết bẩn/vết nứt/vết nứt/nhiễm bẩn | Không có | NA | |
| Chip cạnh/vết lõm/gãy/tấm lục giác | Không có | ||
| Khu vực đa dạng | Không có | Diện tích tích lũy<20% | Diện tích tích lũy<30% |
| Đánh dấu laser phía trước | Không có | ||
| Trở lại Chất lượng | |||
| Kết thúc trở lại | CMP mặt chữ C | ||
| Vết xước | 5ea / mm, Chiều dài tích lũy 2 * Đường kính | NA | |
| Khuyết tật ở mặt sau (lỗi ở cạnh/vết lõm) | Không có | ||
| Độ nhám lưng | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Đánh dấu laser phía sau | 1 mm (từ cạnh trên) | ||
| Bờ rìa | |||
| Bờ rìa | vát mép | ||
| Bao bì | |||
| Bao bì | Sẵn sàng cho Epi với bao bì chân không Bao bì cassette nhiều wafer | ||
| *Lưu ý: "NA" nghĩa là không có yêu cầu. Các mục không được đề cập có thể ám chỉ SEMI-STD. | |||
