phủ TaCĐế than chì LED cực tím sâu đề cập đến quá trình cải thiện hiệu suất và độ ổn định của thiết bị bằng cách lắng đọng mộtlớp phủ TaCtrên đế than chì trong quá trình chuẩn bị thiết bị LED cực tím sâu. Lớp phủ này có thể cải thiện hiệu suất tản nhiệt, khả năng chịu nhiệt độ cao và khả năng chống oxy hóa của thiết bị, từ đó nâng cao hiệu quả và độ tin cậy của thiết bị LED. Thiết bị LED tia cực tím sâu thường được sử dụng trong một số lĩnh vực đặc biệt như khử trùng, xử lý bằng ánh sáng, v.v., những lĩnh vực này có yêu cầu cao về độ ổn định và hiệu suất của thiết bị. Việc áp dụngThan chì phủ TaCđế có thể nâng cao hiệu quả độ bền và hiệu suất của thiết bị, hỗ trợ quan trọng cho sự phát triển của công nghệ LED tia cực tím sâu.
Semicera cung cấp lớp phủ tantalum cacbua (TaC) chuyên dụng cho các bộ phận và vật mang khác nhau.Quy trình phủ hàng đầu của Semicera cho phép lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đạt được độ tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt độ cao và khả năng chịu hóa chất cao, cải thiện chất lượng sản phẩm của tinh thể SIC/GAN và các lớp EPI (Chất nhạy cảm TaC được phủ than chì) và kéo dài tuổi thọ của các bộ phận chính của lò phản ứng. Việc sử dụng lớp phủ tantalum cacbua TaC là để giải quyết vấn đề cạnh và cải thiện chất lượng phát triển của tinh thể, và Semicera đã giải quyết được bước đột phá về công nghệ phủ cacbua tantalum (CVD), đạt đến trình độ tiên tiến quốc tế.
Sau nhiều năm phát triển, Semicera đã chinh phục được công nghệCVD TaCvới sự nỗ lực chung của bộ phận R&D. Các khuyết tật rất dễ xảy ra trong quá trình phát triển của tấm wafer SiC, nhưng sau khi sử dụngTaC, sự khác biệt là đáng kể. Dưới đây là so sánh các tấm bán dẫn có và không có TaC, cũng như các bộ phận của Simicera để phát triển tinh thể đơn.
có và không có TaC
Sau khi sử dụng TaC (phải)
Hơn nữa, SemiceraSản phẩm được phủ TaCthể hiện tuổi thọ dài hơn và khả năng chịu nhiệt độ cao hơn so vớilớp phủ SiC.Các phép đo trong phòng thí nghiệm đã chứng minh rằnglớp phủ TaCcó thể hoạt động ổn định ở nhiệt độ lên tới 2300 độ C trong thời gian dài. Dưới đây là một số ví dụ về mẫu của chúng tôi: