Vòng dẫn hướng than chì phủ TaCđề cập đến sự lắng đọng của một lớp mỏngcacbua tantalumtrên bề mặt của vòng dẫn hướng than chì để cải thiện khả năng chống mài mòn, chịu nhiệt độ cao và ổn định hóa học. Lớp phủ này thường được hình thành trên bề mặt của vòng dẫn hướng than chì bằng các kỹ thuật như lắng đọng hơi vật lý (PVD) hoặc lắng đọng hơi hóa học (CVD).
Semicera cung cấp lớp phủ tantalum cacbua (TaC) chuyên dụng cho các bộ phận và vật mang khác nhau.Quy trình phủ hàng đầu của Semicera cho phép lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đạt được độ tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt độ cao và khả năng chịu hóa chất cao, cải thiện chất lượng sản phẩm của tinh thể SIC/GAN và các lớp EPI (Chất nhạy cảm TaC được phủ than chì) và kéo dài tuổi thọ của các bộ phận chính của lò phản ứng. Việc sử dụng lớp phủ tantalum cacbua TaC là để giải quyết vấn đề cạnh và cải thiện chất lượng phát triển của tinh thể, và Semicera đã giải quyết được bước đột phá về công nghệ phủ cacbua tantalum (CVD), đạt đến trình độ tiên tiến quốc tế.
Sau nhiều năm phát triển, Semicera đã chinh phục được công nghệCVD TaCvới sự nỗ lực chung của bộ phận R&D. Các khuyết tật rất dễ xảy ra trong quá trình phát triển của tấm wafer SiC, nhưng sau khi sử dụngTaC, sự khác biệt là đáng kể. Dưới đây là so sánh các tấm bán dẫn có và không có TaC, cũng như các bộ phận của Simicera để phát triển tinh thể đơn.
Các tính năng chính của vòng dẫn hướng than chì phủ TaC bao gồm:
1. Khả năng chịu nhiệt độ cao: Lớp phủ TaC có độ ổn định nhiệt độ cao tuyệt vời và có thể duy trì sự ổn định trong môi trường nhiệt độ cao.
2. Chống mài mòn: Độ cứng cao của lớp mỏng cacbua tantalum giúp vòng dẫn hướng có khả năng chống mài mòn tốt và kéo dài tuổi thọ của nó.
3. Độ ổn định hóa học: Lớp phủ TaC có độ ổn định cao chống lại sự ăn mòn hóa học nên thích hợp ứng dụng trong một số môi trường ăn mòn.
4. Giảm ma sát: Lớp phủ TaC có thể làm giảm ma sát giữa vòng dẫn hướng than chì và các bộ phận khác một cách hiệu quả và nâng cao hiệu quả của phốt cơ khí.
có và không có TaC
Sau khi sử dụng TaC (phải)
Hơn nữa, SemiceraSản phẩm được phủ TaCthể hiện tuổi thọ dài hơn và khả năng chịu nhiệt độ cao hơn so vớilớp phủ SiC.Các phép đo trong phòng thí nghiệm đã chứng minh rằnglớp phủ TaCcó thể hoạt động ổn định ở nhiệt độ lên tới 2300 độ C trong thời gian dài. Dưới đây là một số ví dụ về mẫu của chúng tôi:
