lớp phủ TaClà lớp phủ vật liệu quan trọng, thường được điều chế trên nền than chì bằng công nghệ lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD). Lớp phủ này có các đặc tính tuyệt vời như độ cứng cao, khả năng chống mài mòn tuyệt vời, chịu nhiệt độ cao và ổn định hóa học, phù hợp cho các ứng dụng kỹ thuật có yêu cầu cao khác nhau.
Công nghệ MOCVD là công nghệ tăng trưởng màng mỏng thường được sử dụng để lắng đọng màng hợp chất mong muốn trên bề mặt nền bằng cách cho tiền chất hữu cơ kim loại phản ứng với khí phản ứng ở nhiệt độ cao. Khi chuẩn bịlớp phủ TaC, lựa chọn tiền chất hữu cơ kim loại và nguồn carbon thích hợp, kiểm soát các điều kiện phản ứng và thông số lắng đọng, một màng TaC đồng nhất và dày đặc có thể được lắng đọng trên nền than chì.
Semicera cung cấp lớp phủ tantalum cacbua (TaC) chuyên dụng cho các bộ phận và vật mang khác nhau.Quy trình phủ hàng đầu của Semicera cho phép lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đạt được độ tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt độ cao và khả năng chịu hóa chất cao, cải thiện chất lượng sản phẩm của tinh thể SIC/GAN và các lớp EPI (Chất nhạy cảm TaC được phủ than chì) và kéo dài tuổi thọ của các bộ phận chính của lò phản ứng. Việc sử dụng lớp phủ tantalum cacbua TaC là để giải quyết vấn đề cạnh và cải thiện chất lượng phát triển của tinh thể, và Semicera đã giải quyết được bước đột phá về công nghệ phủ cacbua tantalum (CVD), đạt đến trình độ tiên tiến quốc tế.
Sau nhiều năm phát triển, Semicera đã chinh phục được công nghệCVD TaCvới sự nỗ lực chung của bộ phận R&D. Các khuyết tật rất dễ xảy ra trong quá trình phát triển của tấm wafer SiC, nhưng sau khi sử dụngTaC, sự khác biệt là đáng kể. Dưới đây là so sánh các tấm bán dẫn có và không có TaC, cũng như các bộ phận của Simicera để phát triển tinh thể đơn.
có và không có TaC
Sau khi sử dụng TaC (phải)
Hơn nữa, SemiceraSản phẩm được phủ TaCthể hiện tuổi thọ dài hơn và khả năng chịu nhiệt độ cao hơn so vớilớp phủ SiC.Các phép đo trong phòng thí nghiệm đã chứng minh rằnglớp phủ TaCcó thể hoạt động ổn định ở nhiệt độ lên tới 2300 độ C trong thời gian dài. Dưới đây là một số ví dụ về mẫu của chúng tôi:
