Semicera cung cấp lớp phủ tantalum cacbua (TaC) chuyên dụng cho các bộ phận và vật mang khác nhau.Quy trình phủ hàng đầu của Semicera cho phép lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đạt được độ tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt độ cao và khả năng chịu hóa chất cao, cải thiện chất lượng sản phẩm của tinh thể SIC/GAN và các lớp EPI (Chất nhạy cảm TaC được phủ than chì) và kéo dài tuổi thọ của các bộ phận chính của lò phản ứng. Việc sử dụng lớp phủ tantalum cacbua TaC là để giải quyết vấn đề cạnh và cải thiện chất lượng phát triển của tinh thể, và Semicera đã giải quyết được bước đột phá về công nghệ phủ cacbua tantalum (CVD), đạt đến trình độ tiên tiến quốc tế.
Với sự ra đời của tấm wafer silicon cacbua (SiC) 8 inch, các yêu cầu đối với các quy trình bán dẫn khác nhau ngày càng trở nên nghiêm ngặt, đặc biệt đối với các quy trình epit Wax nơi nhiệt độ có thể vượt quá 2000 độ C. Các vật liệu nhạy cảm truyền thống, chẳng hạn như than chì phủ silicon cacbua, có xu hướng thăng hoa ở nhiệt độ cao này, làm gián đoạn quá trình epit Wax. Tuy nhiên, cacbua tantalum CVD (TaC) giải quyết vấn đề này một cách hiệu quả, chịu được nhiệt độ lên tới 2300 độ C và mang lại tuổi thọ dài hơn. Liên hệ với Semicera's Các bộ phận tùy chỉnh lớp phủ Tantalum Carbide TaC CVDđể khám phá thêm về các giải pháp tiên tiến của chúng tôi.
Sau nhiều năm phát triển, Semicera đã chinh phục được công nghệCVD TaCvới sự nỗ lực chung của bộ phận R&D. Các khuyết tật rất dễ xảy ra trong quá trình phát triển của tấm wafer SiC, nhưng sau khi sử dụngTaC, sự khác biệt là đáng kể. Dưới đây là so sánh các tấm bán dẫn có và không có TaC, cũng như các bộ phận của Simicera để phát triển tinh thể đơn.
có và không có TaC
Sau khi sử dụng TaC (phải)
Hơn nữa, SemiceraSản phẩm được phủ TaCthể hiện tuổi thọ dài hơn và khả năng chịu nhiệt độ cao hơn so vớilớp phủ SiC.Các phép đo trong phòng thí nghiệm đã chứng minh rằnglớp phủ TaCcó thể hoạt động ổn định ở nhiệt độ lên tới 2300 độ C trong thời gian dài. Dưới đây là một số ví dụ về mẫu của chúng tôi:
