Tấm phủ TaC là một đĩa chuyên dụng được thiết kế để sử dụng trong quy trình epiticular SiC, được chế tạo với độ chính xác từ vật liệu than chì chất lượng cao. Bề mặt của nó được phủ một cách tỉ mỉ bằng cacbua tantalum (TaC), một hợp chất được biết đến với độ tinh khiết và độ bền đặc biệt. Lớp phủ TaC giúp tăng cường độ bền và khả năng chịu nhiệt độ cao của tấm, khiến nó trở nên lý tưởng cho các điều kiện khắt khe của quy trình epiticular SiC.
Tấm phủ TaC cải tiến này là một đĩa chuyên dụng được thiết kế để sử dụng trong quy trình epiticular SiC, được chế tạo với độ chính xác từ vật liệu than chì chất lượng cao. Bề mặt tấm phủ TaC được phủ tỉ mỉ bằng cacbua tantalum (TaC), một hợp chất được biết đến với độ tinh khiết và độ bền đặc biệt. đóng vai trò như một nền tảng đáng tin cậy để mang các tấm bán dẫn trong các giai đoạn phát triển epiticular SiC khác nhau. Đế than chì có độ tinh khiết cao mang lại bề mặt ổn định và trơ, trong khi lớp phủ TaC bổ sung thêm một lớp bảo vệ chống lại phản ứng hóa học và mài mòn.
Bán nguyệtthời đạiTấm phủ TaC được tùy chỉnh theo yêu cầu cụ thể của khách hàng, đảm bảo hiệu suất tối ưu và khả năng tương thích với hệ thống epiticular SiC của họ. Cho dù đó là kích thước, hình dạng hay thông số kỹ thuật khác, những tấm này đều được điều chỉnh để đáp ứng nhu cầu riêng của từng ứng dụng.
có và không có TaC
Sau khi sử dụng TaC (phải)
Hơn nữa, SemiceraSản phẩm được phủ TaCthể hiện tuổi thọ dài hơn và khả năng chịu nhiệt độ cao hơn so vớilớp phủ SiC.Các phép đo trong phòng thí nghiệm đã chứng minh rằnglớp phủ TaCcó thể hoạt động ổn định ở nhiệt độ lên tới 2300 độ C trong thời gian dài. Dưới đây là một số ví dụ về mẫu của chúng tôi:
