Semicera cung cấp lớp phủ tantalum cacbua (TaC) chuyên dụng cho các bộ phận và vật mang khác nhau.Quy trình phủ hàng đầu của Semicera cho phép lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đạt được độ tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt độ cao và khả năng chịu hóa chất cao, cải thiện chất lượng sản phẩm của tinh thể SIC/GAN và các lớp EPI (Chất nhạy cảm TaC được phủ than chì) và kéo dài tuổi thọ của các bộ phận chính của lò phản ứng. Việc sử dụng lớp phủ tantalum cacbua TaC là để giải quyết vấn đề cạnh và cải thiện chất lượng phát triển của tinh thể, và Semicera đã giải quyết được bước đột phá về công nghệ phủ cacbua tantalum (CVD), đạt đến trình độ tiên tiến quốc tế.
Chất mang wafer được phủ cacbua tantalum được sử dụng rộng rãi trong các quy trình xử lý và xử lý wafer trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Chúng cung cấp sự hỗ trợ và bảo vệ ổn định để đảm bảo sự an toàn, chính xác và nhất quán của các tấm bán dẫn trong quá trình sản xuất. Lớp phủ cacbua tantalum có thể kéo dài tuổi thọ của chất mang, giảm chi phí và cải thiện chất lượng cũng như độ tin cậy của các sản phẩm bán dẫn.
Mô tả chất mang wafer phủ tantalum cacbua như sau:
1. Lựa chọn vật liệu: Tantalum cacbua là vật liệu có hiệu suất tuyệt vời, độ cứng cao, điểm nóng chảy cao, khả năng chống ăn mòn và tính chất cơ học tuyệt vời nên được sử dụng rộng rãi trong quá trình sản xuất chất bán dẫn.
2. Lớp phủ bề mặt: Lớp phủ cacbua tantalum được phủ lên bề mặt của chất mang wafer thông qua quy trình phủ đặc biệt để tạo thành lớp phủ cacbua tantalum đồng nhất và dày đặc. Lớp phủ này có thể cung cấp thêm khả năng bảo vệ và chống mài mòn, đồng thời có tính dẫn nhiệt tốt.
3. Độ phẳng và độ chính xác: Chất mang wafer được phủ cacbua Tantalum có độ phẳng và độ chính xác cao, đảm bảo độ ổn định và chính xác của tấm wafer trong quá trình sản xuất. Độ phẳng và độ hoàn thiện của bề mặt mang là rất quan trọng để đảm bảo chất lượng và hiệu suất của wafer.
4. Độ ổn định nhiệt độ: Chất mang wafer được phủ cacbua tantalum có thể duy trì sự ổn định trong môi trường nhiệt độ cao mà không bị biến dạng hoặc lỏng lẻo, đảm bảo tính ổn định và nhất quán của wafer trong các quy trình nhiệt độ cao.
5. Chống ăn mòn: Lớp phủ cacbua Tantalum có khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, có thể chống lại sự ăn mòn của hóa chất và dung môi, đồng thời bảo vệ chất mang khỏi sự ăn mòn của chất lỏng và khí.
có và không có TaC
Sau khi sử dụng TaC (phải)
Hơn nữa, SemiceraSản phẩm được phủ TaCthể hiện tuổi thọ dài hơn và khả năng chịu nhiệt độ cao hơn so vớilớp phủ SiC.Các phép đo trong phòng thí nghiệm đã chứng minh rằnglớp phủ TaCcó thể hoạt động ổn định ở nhiệt độ lên tới 2300 độ C trong thời gian dài. Dưới đây là một số ví dụ về mẫu của chúng tôi:
