Tấm than chì phủ cacbua tantalilà vật liệu than chì có một lớp mỏngcacbua tantalumtrên bề mặt của chất nền. Lớp mỏng cacbua tantalum thường được hình thành trên bề mặt chất nền than chì bằng các kỹ thuật như lắng đọng hơi vật lý (PVD) hoặc lắng đọng hơi hóa học (CVD). Lớp phủ này có các đặc tính tuyệt vời như độ cứng cao, khả năng chống mài mòn tuyệt vời, chống ăn mòn và ổn định nhiệt độ cao.
Semicera cung cấp lớp phủ tantalum cacbua (TaC) chuyên dụng cho các bộ phận và vật mang khác nhau.Quy trình phủ hàng đầu của Semicera cho phép lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đạt được độ tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt độ cao và khả năng chịu hóa chất cao, cải thiện chất lượng sản phẩm của tinh thể SIC/GAN và các lớp EPI (Chất nhạy cảm TaC được phủ than chì) và kéo dài tuổi thọ của các bộ phận chính của lò phản ứng. Việc sử dụng lớp phủ tantalum cacbua TaC là để giải quyết vấn đề cạnh và cải thiện chất lượng phát triển của tinh thể, và Semicera đã giải quyết được bước đột phá về công nghệ phủ cacbua tantalum (CVD), đạt đến trình độ tiên tiến quốc tế.
Sau nhiều năm phát triển, Semicera đã chinh phục được công nghệCVD TaCvới sự nỗ lực chung của bộ phận R&D. Các khuyết tật rất dễ xảy ra trong quá trình phát triển của tấm wafer SiC, nhưng sau khi sử dụngTaC, sự khác biệt là đáng kể. Dưới đây là so sánh các tấm bán dẫn có và không có TaC, cũng như các bộ phận của Simicera để phát triển tinh thể đơn.
Những ưu điểm chính của tấm than chì phủ cacbua tantalum bao gồm:
1. Khả năng chịu nhiệt độ cao: Cacbua Tantalum có điểm nóng chảy cao và độ ổn định nhiệt độ cao tuyệt vời, giúp tấm than chì được phủ thích hợp để sử dụng trong môi trường nhiệt độ cao.
2. Chống ăn mòn: Lớp phủ cacbua Tantalum có thể chống lại sự ăn mòn của nhiều chất ăn mòn hóa học và kéo dài tuổi thọ của vật liệu.
3. Độ cứng cao: Độ cứng cao của lớp mỏng cacbua tantalum mang lại khả năng chống mài mòn tốt và phù hợp cho các ứng dụng yêu cầu khả năng chống mài mòn cao.
4. Độ ổn định hóa học: Lớp phủ cacbua Tantalum có độ ổn định tuyệt vời đối với sự ăn mòn hóa học và phù hợp để sử dụng trong một số môi trường ăn mòn.
có và không có TaC
Sau khi sử dụng TaC (phải)
Hơn nữa, SemiceraSản phẩm được phủ TaCthể hiện tuổi thọ dài hơn và khả năng chịu nhiệt độ cao hơn so vớilớp phủ SiC.Các phép đo trong phòng thí nghiệm đã chứng minh rằnglớp phủ TaCcó thể hoạt động ổn định ở nhiệt độ lên tới 2300 độ C trong thời gian dài. Dưới đây là một số ví dụ về mẫu của chúng tôi:
