Tấm đỡ cảm biến được phủ cacbua tantalilà một cấu trúc nhạy cảm hoặc hỗ trợ được bao phủ bởi một lớp mỏngcacbua tantalum. Lớp phủ này có thể được hình thành trên bề mặt chất nhạy cảm bằng các kỹ thuật như lắng đọng hơi vật lý (PVD) hoặc lắng đọng hơi hóa học (CVD), mang lại cho chất nhạy cảm những đặc tính ưu việt củacacbua tantalum.
Semicera cung cấp lớp phủ tantalum cacbua (TaC) chuyên dụng cho các bộ phận và vật mang khác nhau.Quy trình phủ hàng đầu của Semicera cho phép lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đạt được độ tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt độ cao và khả năng chịu hóa chất cao, cải thiện chất lượng sản phẩm của tinh thể SIC/GAN và các lớp EPI (Chất nhạy cảm TaC được phủ than chì) và kéo dài tuổi thọ của các bộ phận chính của lò phản ứng. Việc sử dụng lớp phủ tantalum cacbua TaC là để giải quyết vấn đề cạnh và cải thiện chất lượng phát triển của tinh thể, và Semicera đã giải quyết được bước đột phá về công nghệ phủ cacbua tantalum (CVD), đạt đến trình độ tiên tiến quốc tế.
Sau nhiều năm phát triển, Semicera đã chinh phục được công nghệCVD TaCvới sự nỗ lực chung của bộ phận R&D. Các khuyết tật rất dễ xảy ra trong quá trình phát triển của tấm wafer SiC, nhưng sau khi sử dụngTaC, sự khác biệt là đáng kể. Dưới đây là so sánh các tấm bán dẫn có và không có TaC, cũng như các bộ phận của Simicera để phát triển tinh thể đơn.
Các tính năng chính của tấm đỡ đế được phủ cacbua tantalum bao gồm:
1. Độ ổn định nhiệt độ cao: Cacbua Tantalum có độ ổn định nhiệt độ cao tuyệt vời, giúp tấm đỡ đế được phủ phù hợp với nhu cầu hỗ trợ trong môi trường làm việc ở nhiệt độ cao.
2. Chống ăn mòn: Lớp phủ cacbua Tantalum có khả năng chống ăn mòn tốt, có thể chống ăn mòn và oxy hóa hóa học, đồng thời kéo dài tuổi thọ của đế.
3. Độ cứng và khả năng chống mài mòn cao: Độ cứng cao của lớp phủ cacbua tantalum giúp tấm đỡ đế có khả năng chống mài mòn tốt, phù hợp cho những trường hợp cần khả năng chống mài mòn cao.
4. Độ ổn định hóa học: Tantalum cacbua có độ ổn định cao đối với nhiều loại chất hóa học, giúp tấm đỡ đế được phủ hoạt động tốt trong một số môi trường ăn mòn.
có và không có TaC
Sau khi sử dụng TaC (phải)
Hơn nữa, SemiceraSản phẩm được phủ TaCthể hiện tuổi thọ dài hơn và khả năng chịu nhiệt độ cao hơn so vớilớp phủ SiC.Các phép đo trong phòng thí nghiệm đã chứng minh rằnglớp phủ TaCcó thể hoạt động ổn định ở nhiệt độ lên tới 2300 độ C trong thời gian dài. Dưới đây là một số ví dụ về mẫu của chúng tôi:
