Semicera cung cấp lớp phủ tantalum cacbua (TaC) chuyên dụng cho các bộ phận và vật mang khác nhau.Quy trình phủ hàng đầu của Semicera cho phép lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đạt được độ tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt độ cao và khả năng chịu hóa chất cao, cải thiện chất lượng sản phẩm của tinh thể SIC/GAN và các lớp EPI (Chất nhạy cảm TaC được phủ than chì) và kéo dài tuổi thọ của các bộ phận chính của lò phản ứng. Việc sử dụng lớp phủ tantalum cacbua TaC là để giải quyết vấn đề cạnh và cải thiện chất lượng phát triển của tinh thể, và Semicera đã giải quyết được bước đột phá về công nghệ phủ cacbua tantalum (CVD), đạt đến trình độ tiên tiến quốc tế.
Nguyên lý làm việc của đĩa hành tinh cacbua tantalum tương tự như nguyên lý truyền bánh răng hành tinh, trong đó đĩa hành tinh đóng vai trò là bộ phận truyền động trung gian và thực hiện truyền lực và điều khiển chuyển động bằng cách chia lưới với các bánh răng bên trong và bên ngoài. Đĩa hành tinh thường có nhiều rãnh răng ăn khớp với các bánh răng bên trong và bên ngoài để đạt được khả năng truyền động êm ái và tạo ra mô-men xoắn cao.
có và không có TaC
Sau khi sử dụng TaC (phải)
Các đặc tính của đĩa hành tinh tantalum cacbua như sau:
1. Chống mài mòn: Vật liệu cacbua Tantalum có độ cứng và khả năng chống mài mòn cực cao, có thể duy trì độ bền tốt trong điều kiện tải trọng cao và chuyển động tốc độ cao, đồng thời giảm hao mòn và tổn thất ma sát.
2. Độ ổn định nhiệt độ cao: Cacbua Tantalum có độ ổn định nhiệt độ cao tuyệt vời và có thể chạy trong thời gian dài trong môi trường nhiệt độ cao mà không bị hư hại, phù hợp cho các quy trình và ứng dụng nhiệt độ cao.
3. Hệ số ma sát thấp: Bề mặt cacbua tantalum có hệ số ma sát thấp, giúp giảm tổn thất năng lượng và sinh nhiệt trong quá trình truyền và cải thiện hiệu suất truyền.
4. Độ chính xác và ổn định cao: Đĩa hành tinh cacbua Tantalum được sản xuất với tay nghề tinh xảo, độ chính xác và ổn định cao, đồng thời có thể đạt được khả năng điều khiển vị trí và truyền dẫn chính xác.
Hơn nữa, SemiceraSản phẩm được phủ TaCthể hiện tuổi thọ dài hơn và khả năng chịu nhiệt độ cao hơn so vớilớp phủ SiC.Các phép đo trong phòng thí nghiệm đã chứng minh rằnglớp phủ TaCcó thể hoạt động ổn định ở nhiệt độ lên tới 2300 độ C trong thời gian dài. Dưới đây là một số ví dụ về mẫu của chúng tôi: