Semicera giới thiệu sản phẩm dẫn đầu ngànhNgười vận chuyển wafer, được thiết kế để cung cấp khả năng bảo vệ vượt trội và vận chuyển liền mạch các tấm bán dẫn mỏng manh qua các giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất. Của chúng tôiNgười vận chuyển waferđược thiết kế tỉ mỉ để đáp ứng nhu cầu nghiêm ngặt của chế tạo chất bán dẫn hiện đại, đảm bảo tính toàn vẹn và chất lượng của tấm bán dẫn của bạn luôn được duy trì.
Các tính năng chính:
• Cấu trúc vật liệu cao cấp:Được chế tạo từ vật liệu chất lượng cao, chống ô nhiễm, đảm bảo độ bền và tuổi thọ cao, khiến chúng trở nên lý tưởng cho môi trường phòng sạch.
•Thiết kế chính xác:Có tính năng căn chỉnh khe chính xác và cơ chế giữ an toàn để ngăn ngừa trượt và hư hỏng tấm bán dẫn trong quá trình xử lý và vận chuyển.
•Khả năng tương thích đa năng:Chứa được nhiều kích thước và độ dày wafer khác nhau, mang lại sự linh hoạt cho các ứng dụng bán dẫn khác nhau.
•Xử lý công thái học:Thiết kế nhẹ và thân thiện với người dùng tạo điều kiện cho việc xếp dỡ dễ dàng, nâng cao hiệu quả vận hành và giảm thời gian xử lý.
•Tùy chọn tùy chỉnh:Cung cấp khả năng tùy chỉnh để đáp ứng các yêu cầu cụ thể, bao gồm lựa chọn vật liệu, điều chỉnh kích thước và ghi nhãn để tích hợp quy trình làm việc được tối ưu hóa.
Nâng cao quy trình sản xuất chất bán dẫn của bạn với SemiceraNgười vận chuyển wafer, giải pháp hoàn hảo để bảo vệ tấm wafer của bạn khỏi bị nhiễm bẩn và hư hỏng cơ học. Hãy tin tưởng vào cam kết của chúng tôi về chất lượng và sự đổi mới để cung cấp các sản phẩm không chỉ đáp ứng mà còn vượt qua các tiêu chuẩn ngành, đảm bảo hoạt động của bạn diễn ra suôn sẻ và hiệu quả.
| Mặt hàng | Sản xuất | Nghiên cứu | giả |
| Thông số tinh thể | |||
| đa hình | 4H | ||
| Lỗi định hướng bề mặt | <11-20 >4±0,15° | ||
| Thông số điện | |||
| Dopant | Nitơ loại n | ||
| Điện trở suất | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Thông số cơ học | |||
| Đường kính | 150,0±0,2mm | ||
| độ dày | 350±25 mm | ||
| Hướng phẳng chính | [1-100]±5° | ||
| Chiều dài phẳng chính | 47,5 ± 1,5mm | ||
| Căn hộ thứ cấp | Không có | ||
| TTV | 5 mm | 10 mm | 15 mm |
| LTV | 3 mm(5mm*5mm) | 5 mm(5mm*5mm) | 10 m(5mm*5mm) |
| Cây cung | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Làm cong vênh | 35 mm | 45 mm | 55 mm |
| Độ nhám mặt trước (Si-face) (AFM) | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Kết cấu | |||
| Mật độ micropipe | <1 cái/cm2 | <10 cái/cm2 | <15 cái/cm2 |
| Tạp chất kim loại | 5E10 nguyên tử/cm2 | NA | |
| BPD | 1500 cái/cm2 | 3000 cái/cm2 | NA |
| TSD | 500 cái/cm2 | 1000 cái/cm2 | NA |
| Chất lượng mặt trước | |||
| Đằng trước | Si | ||
| Bề mặt hoàn thiện | Si-mặt CMP | ||
| hạt | 60ea/bánh xốp (kích thước ≥0,3μm) | NA | |
| Vết xước | 5ea/mm. Chiều dài tích lũy ≤ Đường kính | Chiều dài tích lũy<2*Đường kính | NA |
| Vỏ cam/hố/vết bẩn/vết nứt/vết nứt/nhiễm bẩn | Không có | NA | |
| Chip cạnh/vết lõm/gãy/tấm lục giác | Không có | ||
| Khu vực đa dạng | Không có | Diện tích tích lũy<20% | Diện tích tích lũy<30% |
| Đánh dấu laser phía trước | Không có | ||
| Trở lại Chất lượng | |||
| Kết thúc trở lại | CMP mặt chữ C | ||
| Vết xước | 5ea / mm, Chiều dài tích lũy 2 * Đường kính | NA | |
| Khuyết tật ở mặt sau (lỗi ở cạnh/vết lõm) | Không có | ||
| Độ nhám lưng | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) | ||
| Đánh dấu laser phía sau | 1 mm (từ cạnh trên) | ||
| Bờ rìa | |||
| Bờ rìa | vát mép | ||
| Bao bì | |||
| Bao bì | Sẵn sàng cho Epi với bao bì chân không Bao bì cassette nhiều wafer | ||
| *Lưu ý: "NA" nghĩa là không có yêu cầu. Các mục không được đề cập có thể ám chỉ SEMI-STD. | |||
