cácMOCVDPhương pháp này là một trong những quy trình ổn định nhất hiện đang được sử dụng trong ngành để phát triển các màng mỏng đơn tinh thể chất lượng cao, chẳng hạn như lớp epilayer InGaN một pha, vật liệu III-N và màng bán dẫn có cấu trúc giếng đa lượng tử, và có ý nghĩa rất lớn trong sản xuất các thiết bị bán dẫn và quang điện tử.
cácChất cảm biến MOCVD phủ SiClà một giá đỡ wafer chuyên dụng được phủ silicon cacbua (SiC) đểepitaxy tăng trưởng trong quá trình lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD).
Lớp phủ SiC có khả năng kháng hóa chất và ổn định nhiệt tuyệt vời, khiến nó trở thành lựa chọn lý tưởng cho các chất nhạy cảm MOCVD được sử dụng trong các quá trình tăng trưởng epiticular đòi hỏi khắt khe.
Một thành phần quan trọng của quy trình MOCVD là chất nhạy cảm, đây là yếu tố chính đảm bảo tính đồng nhất và chất lượng của màng mỏng được sản xuất.
Chất nhạy cảm là gì? Chất nhạy cảm là một thành phần chuyên dụng được sử dụng trong quy trình MOCVD để hỗ trợ và làm nóng chất nền mà màng mỏng được lắng đọng trên đó. Nó có nhiều chức năng, bao gồm hấp thụ năng lượng điện từ, chuyển đổi thành nhiệt và phân phối nhiệt đều trên bề mặt. Việc gia nhiệt đồng đều này là cần thiết cho sự phát triển của các màng mỏng đồng nhất với độ dày và thành phần chính xác.
Các loại chất nhạy cảm:
1. Chất nhạy cảm với than chì: Chất nhạy cảm với than chì thường được phủ một lớp bảo vệ nhưcacbua silic (SiC), được biết đến với tính dẫn nhiệt và độ ổn định cao. cáclớp phủ SiCcung cấp một bề mặt cứng, bảo vệ chống lại sự ăn mòn và suy thoái ở nhiệt độ cao.
2. Chất nhạy cảm cacbua silic (SiC): Những chất nhạy cảm này được làm hoàn toàn bằng SiC và có độ ổn định nhiệt và chống mài mòn tuyệt vời. Chất nhạy cảm SiC đặc biệt thích hợp cho các quy trình nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn.
Cách thức hoạt động của các chất nhạy cảm trong MOCVD:
Trong quy trình MOCVD, các tiền chất được đưa vào buồng phản ứng nơi chúng phân hủy và phản ứng tạo thành một màng mỏng trên đế. Chất nhạy cảm đóng một vai trò quan trọng bằng cách đảm bảo rằng chất nền được làm nóng đồng đều, điều này rất quan trọng để đạt được các đặc tính màng nhất quán trên toàn bộ bề mặt chất nền. Vật liệu và thiết kế của thiết bị cảm ứng được lựa chọn cẩn thận để đáp ứng các yêu cầu cụ thể của quá trình lắng đọng, chẳng hạn như phạm vi nhiệt độ và khả năng tương thích hóa học.
Lợi ích của việc sử dụng cảm biến chất lượng cao:
• Nâng cao chất lượng màng: Bằng cách cung cấp khả năng phân bổ nhiệt đồng đều, chất nhạy cảm giúp đạt được màng có độ dày và thành phần nhất quán, điều này rất quan trọng đối với hiệu suất của các thiết bị bán dẫn.
• Cải thiện hiệu quả quy trình: Chất nhạy cảm chất lượng cao làm tăng hiệu quả tổng thể của quy trình MOCVD bằng cách giảm khả năng xảy ra lỗi và tăng hiệu suất của màng có thể sử dụng được.
• Tuổi thọ và độ tin cậy: Các cảm biến được làm bằng vật liệu bền như SiC đảm bảo độ tin cậy lâu dài và giảm chi phí bảo trì.
Chất nhạy cảm là một thành phần không thể thiếu trong quy trình MOCVD và ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng cũng như hiệu quả của quá trình lắng đọng màng mỏng. Để biết thêm thông tin về các kích thước có sẵn, chất nhạy cảm MOCVD và giá cả, vui lòng liên hệ với chúng tôi. Các kỹ sư của chúng tôi sẽ sẵn lòng tư vấn cho bạn về các vật liệu phù hợp và giải đáp mọi thắc mắc của bạn.
Điện thoại: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Thời gian đăng: 12-08-2024